[发明专利]一种晶圆放料盒取料辅助机构

权利要求书

1.一种晶圆放料盒取料辅助机构，包括安装水平板(10)，其特征在于：所述安装水平板(10)的顶面的左部顶面固定有连接板(11)，连接板(11)的顶面的前部和后部均固定有侧固定板(12)，两个侧固定板(12)的内侧壁上成型有前后对应的放置凹槽(13)，晶圆(100)放置在对应的两个放置凹槽(13)中；

所述安装水平板(10)的右侧顶面固定有竖直支撑架(20)，竖直支撑架(20)的竖直主板的左侧壁上固定有直线电机(21)，直线电机(21)的滑移块(22)上固定有支撑架(30)，支撑架(30)的底板的中部顶面上固定有中间支撑板(31)，中间支撑板(31)的右侧壁上固定有第一推动气缸(32)，第一推动气缸(32)的推杆穿过中间支撑板(31)并固定有推动板(33)，推动板(33)的底面固定有水平固定板(34)，水平固定板(34)的左端顶面固定有左竖直板(35)，左竖直板(35)的右侧壁上固定有第二推动气缸(36)，第二推动气缸(36)的推杆穿过左竖直板(35)的左侧壁并固定有第二推动板(37)，第二推动板(37)的左侧壁上固定有延伸固定板(38)，延伸固定板(38)的顶面固定有抓取吸附块(39)，抓取吸附块(39)的左端向左伸出延伸固定板(38)的左端，抓取吸附块(40)对着两个侧固定板(12)之间的右侧处。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆放料盒取料辅助机构，其特征在于：所述支撑架(30)的底板的顶面固定有导轨(1)，水平固定板(34)的底面固定有导向滑块(341)，导轨(1)插套在导向滑块(341)的底面成型有的滑槽中。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆放料盒取料辅助机构，其特征在于：所述第二推动板(37)的右侧壁上固定有导向杆(371)，导向杆(371)插套在左竖直板(35)上具有的导向通孔中。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆放料盒取料辅助机构，其特征在于：所述竖直支撑架(20)的前部和后部均设有导向柱(2)，支撑架(30)的底板的中部底面固定有导向支撑块(3)，导向柱(2)插套在导向支撑块(3)上具有的竖直导向通孔(4)中。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆放料盒取料辅助机构，其特征在于：所述竖直导向通孔(4)的内侧壁上固定有导向套(5)，导向柱(2)插套在导向套(5)中。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆放料盒取料辅助机构，其特征在于：所述竖直支撑架(20)包括固定底板(23)和固定顶板(24)，竖直主板的顶端固定在固定顶板(24)的右部底面上，竖直主板的底端固定在固定底板(23)的右部顶面上，两个导向柱(2)固定在固定底板(23)的前部和后部的顶面上，导向柱(2)的顶面固定在固定顶板(24)的底面上。