[发明专利]一种晶圆放料盒取料辅助机构

说明书

本发明公开一种晶圆放料盒取料辅助机构，包括安装水平板，所述安装水平板的顶面的左部顶面固定有连接板，连接板的顶面的前部和后部均固定有侧固定板，两个侧固定板的内侧壁上成型有前后对应的放置凹槽，晶圆放置在对应的两个放置凹槽中。本发明可以自动将晶圆往外推送，方便抓取机构直接抓取而不会触碰其他晶圆，使得其取料时具有一定误差时，也不会触碰其他晶圆，保证加工效果。

技术领域

本发明涉及半导体制作技术领域，更具体的说涉及一种晶圆放料盒取料辅助机构。

背景技术

现有的晶圆在加工时其一般需要放置在储料架上进行放置，然后，通过抓取机构抓取，而由于上下放置的晶圆间距比较小，其抓取的机构抓取时其高低调节精度要非常高，否者容易在抓取时触碰其余晶圆，然而当其内部具有损伤或其他问题时，其抓取精度无法达到要求时就会产生触碰，影响生产。

发明内容

本发明的目的就是针对现有技术之不足，而提供一种晶圆放料盒取料辅助机构，它可以自动将晶圆往外推送，方便抓取机构直接抓取而不会触碰其他晶圆，使得其取料时具有一定误差时，也不会触碰其他晶圆，保证加工效果。

本发明的技术解决措施如下：

一种晶圆放料盒取料辅助机构，包括安装水平板，所述安装水平板的顶面的左部顶面固定有连接板，连接板的顶面的前部和后部均固定有侧固定板，两个侧固定板的内侧壁上成型有前后对应的放置凹槽，晶圆放置在对应的两个放置凹槽中；

所述安装水平板的右侧顶面固定有竖直支撑架，竖直支撑架的竖直主板的左侧壁上固定有直线电机，直线电机的滑移块上固定有支撑架，支撑架的底板的中部顶面上固定有中间支撑板，中间支撑板的右侧壁上固定有第一推动气缸，第一推动气缸的推杆穿过中间支撑板并固定有推动板，推动板的底面固定有水平固定板，水平固定板的左端顶面固定有左竖直板，左竖直板的右侧壁上固定有第二推动气缸，第二推动气缸的推杆穿过左竖直板的左侧壁并固定有第二推动板，第二推动板的左侧壁上固定有延伸固定板，延伸固定板的顶面固定有抓取吸附块，抓取吸附块的左端向左伸出延伸固定板的左端，抓取吸附块对着两个侧固定板之间的右侧处。

所述支撑架的底板的顶面固定有导轨，水平固定板的底面固定有导向滑块，导轨插套在导向滑块的底面成型有的滑槽中。

所述第二推动板的右侧壁上固定有导向杆，导向杆插套在左竖直板上具有的导向通孔中。

所述竖直支撑架的前部和后部均设有导向柱，支撑架的底板的中部底面固定有导向支撑块，导向柱插套在导向支撑块上具有的竖直导向通孔中。

所述竖直导向通孔的内侧壁上固定有导向套，导向柱插套在导向套中。

所述竖直支撑架包括固定底板和固定顶板，竖直主板的顶端固定在固定顶板的右部底面上，竖直主板的底端固定在固定底板的右部顶面上，两个导向柱固定在固定底板的前部和后部的顶面上，导向柱的顶面固定在固定顶板的底面上。

本发明的有益效果在于：其可以自动将晶圆往外推送，方便抓取机构直接抓取而不会触碰其他晶圆，使得其取料时具有一定误差时，也不会触碰其他晶圆，保证加工效果。

附图说明

图1为本发明的局部剖视图；

图2为图1的局部放大图；

图3为两个侧固定板处的局部剖视图。

具体实施方式

实施例：见图1至3所示，一种晶圆放料盒取料辅助机构，包括安装水平板10，所述安装水平板10的顶面的左部顶面固定有连接板11，连接板11的顶面的前部和后部均固定有侧固定板12，两个侧固定板12的内侧壁上成型有前后对应的放置凹槽13，晶圆100放置在对应的两个放置凹槽13中；两个侧固定板12的右端成型有相对延伸的弧形部；