[发明专利]一种用于氦质谱检漏测试系统的氦气浓度检测控制装置

权利要求书

1.一种用于氦质谱检漏测试系统的氦气浓度检测控制装置，包括检测箱(1)，其特征在于，所述检测箱(1)顶部设置有用于放置氦气回收瓶的安装槽(2)，其内部设置有多个配电柜(3)，检测箱(1)中部安装氦气浓度检测控制仪(4)，其外侧面设置有操控面板(5)；所述氦气浓度检测控制仪(4)内部集成设置有混合氦气取样阀(6)、稳压控制阀(7)、微流量控制阀(8)、氦气浓度传感器(9)、数据输出模块(10)、进气端口(11)、排气端口(12)、数据显示器(13)、信号放大器(14)、数据处理器(15)、控制触点及控制信号输出端口(16)和电源装置(17)，电源装置(17)为氦气浓度检测控制仪(4)内的各电器元件进行供电；所述氦气浓度传感器(9)包括恒温控制结构和传感器本体(18)。

2.根据权利要求1所述的一种用于氦质谱检漏测试系统的氦气浓度检测控制装置，其特征在于：所述混合氦气取样阀(6)的输入端与进气端口(11)连接，其输出端与氦气浓度传感器(9)连接，稳压控制阀(7)和微流量控制阀(8)依次安装在混合氦气取样阀(6)与氦气浓度传感器(9)之间的管路上，氦气浓度传感器(9)的输出端与排气端口(12)连接。

3.根据权利要求1所述的一种用于氦质谱检漏测试系统的氦气浓度检测控制装置，其特征在于：所述氦气浓度传感器(9)的信号输出端连接至数据输出模块(10)，数据输出模块(10)的信号输出端连接至数据处理器(15)，数据处理器(15)分别与数据显示器(13)、控制触点及控制信号输出端口(16)连接，数据处理器(15)将处理后的数据经信号放大器(14)放大后发送至数据显示器(13)。

4.根据权利要求1所述的一种用于氦质谱检漏测试系统的氦气浓度检测控制装置，其特征在于：所述操控面板(5)上设置有显示屏，数据显示器(13)的输出端与显示屏连接。

5.根据权利要求1所述的一种用于氦质谱检漏测试系统的氦气浓度检测控制装置，其特征在于：所述传感器本体(18)由两根微电流热电偶丝与两个标准电阻组成的惠士通电桥构成，恒温控制结构包括包覆在传感器本体(18)外部的保温壳和恒温控制器，该保温壳由双层结构的保温层(19)以及设置在两保温层(19)之间的电加热管(20)构成，恒温控制器与电加热管(20)的控制端连接，恒温控制器由操控面板(5)进行控制。

6.根据权利要求1所述的一种用于氦质谱检漏测试系统的氦气浓度检测控制装置，其特征在于：所述氦气浓度检测控制仪(4)通过控制触点及控制信号输出端口(16)与上位机连接，用于远程控制。