[发明专利]具有声阻层的体声波谐振器及其组件和制造方法、滤波器和电子设备

权利要求书

1.一种体声波谐振器，包括：

基底；

声学镜；

底电极；

压电层；和

顶电极，

其中：

顶电极、压电层、底电极在谐振器的厚度方向上的重叠区域构成谐振器的有效区域；

所述压电层包括第一层和第二层，第一层与第二层之间设置有声阻层，第二层在第一层的上方，所述声阻层的内边缘在水平方向上处于声学镜边界的内侧，所述声阻层的声阻不同于所述压电层的声阻；

所述谐振器还包括将所述声阻层与外部相通的通道或开口。

2.根据权利要求1所述的谐振器，其中：

在顶电极的非电极连接端，所述声阻层的外边缘与第二层的端部齐平，所述声阻层的外边缘构成或处于所述开口；或者

基于所述声阻层，顶电极的非电极连接端形成悬翼结构。

3.根据权利要求2所述的谐振器，其中：

在顶电极的非电极连接端，所述第二层的端部的端面为竖直面或斜面。

4.根据权利要求2所述的谐振器，其中：

在顶电极的非电极连接端，第一层的处于声阻层的外边缘的外侧的部分的厚度等于处于声阻层的外边缘的内侧的部分的厚度；或者

在顶电极的非电极连接端，第一层的处于声阻层的外边缘的外侧的部分的厚度小于处于声阻层的外边缘的内侧的部分的厚度；或者

在顶电极的非电极连接端，第一层的处于声阻层的外边缘的外侧的部分被移除。

5.根据权利要求2所述的谐振器，其中：

顶电极的非电极连接端在水平方向上与所述第二层的端部错开。

6.根据权利要求1所述的谐振器，其中：

所述声阻层包括多个声阻部，所述多个声阻部沿谐振器的有效区域在周向方向上间隔开布置，所述多个声阻部的外边缘构成沿有效区域的周向方向间隔布置的多个所述开口；或者

所述声阻层沿谐振器的有效区域在周向方向上连续布置，所述声阻层的外边缘构成沿有效区域的周向方向连续布置的所述开口。

7.根据权利要求2-6中任一项所述的谐振器，其中：

所述声阻层为空隙层或者固态介质层。

8.根据权利要求1所述的谐振器，其中：

在顶电极的非电极连接端，所述通道在第二层的厚度方向上穿过第二层，所述通道在水平方向上处于所述顶电极的非电极连接端的外侧，所述通道与所述声阻层相通或相接。

9.根据权利要求8所述的谐振器，其中：

所述声阻层至少在所述顶电极的非电极连接端沿有效区域周向方向连续设置，且所述通道为沿有效区域周向设置且与所述声阻层相通或相接的连续通道，或者所述通道包括沿有效区域周向间隔开设置的多个孔；或者

所述声阻层包括多个声阻部，所述多个声阻部沿谐振器的有效区域在周向方向上间隔开布置，所述通道包括分别与所述多个声阻部相通或相接的多个孔，或者所述通道为沿有效区域周向设置且与所述多个声阻部相通或相接的连续通道。

10.根据权利要求8或9所述的谐振器，其中：

所述声阻层为空隙层，所述通道为与所述空隙层相通的释放通道。

11.根据权利要求1-10中任一项所述的谐振器，其中：

第一层的压电材料不同于第二层的压电材料。

12.根据权利要求11所述的谐振器，其中：

第一层与第二层中的一层为另一层的掺杂层；或者

第一层与第二层均为同一材料的掺杂层，第一层的掺杂浓度不同于第二层的掺杂浓度；或者

第一层的材料为氮化铝、氧化锌、锆钛酸铅、铌酸锂、石英、铌酸钾、钽酸锂中的一种材料，而第二层为氮化铝、氧化锌、锆钛酸铅、铌酸锂、石英、铌酸钾、钽酸锂中不同于第一层材料的材料。