[发明专利]一种管内气相沉积设备进气装置

权利要求书

1.一种管内气相沉积设备进气装置，其特征在于，包括进气管和反应管，反应管的一端套设在所述进气管的一端外侧，所述进气管和反应管之间设有弹性密封件，弹性密封件外壁与所述反应管内壁间密封，所述弹性密封件内壁与所述进气管外壁间留有间隙，还包括真空密封组件，真空密封组件包括套设在所述弹性密封件外侧的真空密封件主体，真空密封件主体上开设有高纯气体进气口、抽真空进气口、抽真空排气口和空气进气口，所述高纯气体进气口、空气进气口和所述间隙之间形成有空气气道，所述抽真空进气口和抽真空排气口之间形成有抽真空气道，所述空气气道与所述抽真空气道间通过气管连通，通过所述抽真空排气口抽真空，所述高纯气体进入所述空气气道后，一部分经过所述间隙进入所述反应管，另一部分通过所述气管进入所述抽真空气道并排出大气；

所述弹性密封件包括弹性密封件主体和套设在弹性密封件主体外的第一密封圈，所述弹性密封件主体与所述进气管外壁间形成所述间隙，所述第一密封圈在所述弹性密封件主体和所述反应管内壁间形成密封；

所述真空密封件主体和所述进气管间设有第二密封圈，第二密封圈上盖设有密封盖。

2.根据权利要求1所述的管内气相沉积设备进气装置，其特征在于，所述第一密封圈至少有一对、彼此间隔分布，相邻所述第一密封圈之间夹设有定位块。

3.根据权利要求2所述的管内气相沉积设备进气装置，其特征在于，所述第一密封圈为橡胶密封圈。

4.根据权利要求1所述的管内气相沉积设备进气装置，其特征在于，所述反应管外侧夹设有旋转夹头，所述反应管通过所述旋转夹头带动转动，所述旋转夹头在所述反应管上的夹设部位位于所述反应管和进气管的连接部分。

5.根据权利要求1所述的管内气相沉积设备进气装置，其特征在于，所述高纯气体为惰性气体。