[发明专利]一种新型的扫描电子显微镜

说明书

本发明公开了一种扫描电子显微镜，包括机架，所述机架内设置有试样板，所述试样板的顶端安装有扫描发生器，所述扫描发生器的一端设置有隔板，所述机架的外侧设置有真空管，所述机架的顶端安装有连接座，所述连接座上设置有镜筒，所述镜筒内设置有电子枪，所述机架内设置有支架。本发明在机架的内部设置有护罩，且通过护罩与物镜光闸的连接，可实现样品室内部的试样板上的样品的检测，进一步的增加扫描过程中的精准度，方便检测过程中的精度，从而更好的进行解析物品，在机架内部设置有隔板，且通过隔板可实现机架内部部分空间的隔绝，针对于试样板上进行全面的抽空，方便检测过程中的精度，防止外物的干扰，影响精度的问题。

技术领域

本发明涉及扫描电子显微镜技术领域，具体是一种新型的扫描电子显微镜。

背景技术

传统的光学系统对物体进行观测具有操作简单、方便的特点，且样品的制备简单，不需要高真空等严格的观测条件，因此常用于对物体进行快速显微观测。由于传统的光学系统分辨率低，在对物体进行高分辨率的探测时受到限制。在观察微观物体方面，扫描电子显微镜以其分辨率高，景深大等特点受到广泛应用。

由于传统的扫描电子显微镜观测物体细微信息时，需要很高的放大倍数，因此，视场范围较小，对待测位置定位困难。通常，需要借助大视场条件下获得的图像来定位样品待测位置。而扫描电子显微镜在大视场探测时，视场边缘位置产生的畸变很大，不能真实反映样品的表面形貌，因此，通过大视场下获得的扫描电子显微镜图像来定位样品待测位置时，往往定位不准确。光学系统的分辨率最高为200nm，大视场观测时光学系统的畸变远小于扫描电子显微镜产生的畸变，因此，利用光学系统与扫描电子显微镜的结合使用来对物体进行探测：先使用光学系统寻找目标位置，再使用扫描电子显微镜进行更高分辨率的观测，该方法是解决这一问题行之有效的方法。

目前阶段的带扫描功能的电子显微镜存在诸多的不足之处，例如，调节能力较差、防护不好以及在机架内部的真空箱内封闭性不足的问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种新型的扫描电子显微镜，以解决现有技术中的调节能力较差、防护不好以及在机架内部的真空箱内封闭性不足的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种新型的扫描电子显微镜，包括机架，所述机架内设置有试样板，所述试样板的顶端安装有扫描发生器，所述扫描发生器的一端设置有隔板，所述机架的外侧设置有真空管，所述机架的顶端安装有连接座，所述连接座上设置有镜筒，所述镜筒内设置有电子枪，所述机架内设置有支架，所述机架底端安装有减震支撑腿，所述减震支撑腿由上脚垫、橡胶柱和下脚垫组成，所述橡胶柱位于上脚垫和下脚垫之间，且橡胶柱中心处开设有通孔。

优选的，所述镜筒内设置有光闸架，所述光闸架的底端安装有聚光镜，且聚光镜位于镜筒内的两端位置。

优选的，所述机架内设置有物镜光闸，所述物镜光闸的两端安装有连接架，且连接架与机架固定连接。

优选的，所述机架上设置有样品室，所述样品室的外侧安装有固定架。

优选的，所述样品室上设置有翻板，所述样品室的一端安装有密封槽。

优选的，所述物镜光闸的底端安装有护罩，且护罩位于机架内的中间位置。

优选的，所述物镜光闸上设置有放大器，且放大器位于物镜光闸的外侧位置。

优选的，其使用方法包括以下步骤：

S1：通过镜筒顶端的电子枪进行电子束的发射，通过镜筒内部的光闸架进行连接光闸的位置，实现电子束的传播；

S2：通过镜筒内部的聚光镜进行电子束的聚集，通过连接座进行固定镜筒的底端位置，通过机架一端的真空管实现机架内部的隔板内侧的真空抽取，通过物镜光闸实现电子束的穿透，进而对试样板上的样品进行扫描解析；