[发明专利]一种显示背板及其制备方法、显示装置在审

专利信息
申请号: 202011253817.1 申请日: 2020-11-11
公开(公告)号: CN112382637A 公开(公告)日: 2021-02-19
发明(设计)人: 王利忠;周天民 申请(专利权)人: 京东方科技集团股份有限公司
主分类号: H01L27/12 分类号: H01L27/12;H01L21/77
代理公司: 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 代理人: 李娜
地址: 100015 *** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 显示 背板 及其 制备 方法 显示装置
【说明书】:

发明实施例提供了一种显示背板及其制备方法、显示装置,该显示背板包括:衬板;源极层,源极层设置在衬板上;第一钝化层,第一钝化层设置在源极层上;漏极层,漏极层设置在第一钝化层上;在源极层、第一钝化层和漏极层上设置第一凹槽;所述第一凹槽开口处的宽度大于底部的宽度;半导体层,半导体层设置在第一凹槽的内壁。本发明实施例中,通过将源极层和漏极层放在不同层设置,通过设置第一凹槽,在第一凹槽的内壁设置半导体层连接源极层和漏极层,则可以保证源极层和漏极层之间的半导体层的长度满足不会出现沟道效应的同时,可以提高显示装置的开口率,进而提高显示装置的像素。

技术领域

本发明涉及显示技术领域,尤其涉及一种显示背板及其制备方法、显示装置。

背景技术

参照图1,为现有技术的显示背板,该显示背板包括:依次层叠设置的栅极层11、绝缘层12和半导体层13;还包括设置在半导体层13两侧的漏极14和源极15,该源极15和漏极14同层设置;其中,源极15和漏极14之间的距离为W1。

其中,上述在先技术中的显示背板,由于源极15和漏极14之间的距离W1过小时会存在沟道效益,而距离W1较大时,会使包含该显示背板的显示装置的开口率较小,进而使显示装置的像素较低。

发明内容

本发明提供一种显示背板,以解决显示背板中源极和漏极之间由于距离较大,影响显示装置像素的问题。

本发明第一方面提供了一种显示背板,包括:

衬板;

源极层,所述源极层设置在所述衬板上;

第一钝化层,所述第一钝化层设置在所述源极层背离所述衬板的一面;

漏极层,所述漏极层设置在所述第一钝化层背离所述衬板的一面;其中,在所述源极层、所述第一钝化层和所述漏极层上设置第一凹槽;所述第一凹槽从所述漏极层背离所述第一钝化层的一面贯穿至所述衬板朝向所述源极层的一面;所述第一凹槽开口处的宽度大于底部的宽度;

半导体层,所述半导体层设置在所述第一凹槽的内壁,与所述衬板、源极层、第一钝化层及所述漏极层连接。

可选地,还包括:

第一绝缘层,所述第一绝缘层设置在所述漏极层背离所述第一钝化层的一面,并覆盖所述第一凹槽内的所述半导体层;

第一栅极层,所述第一栅极层设置在所述第一凹槽内,并设置在所述第一绝缘层背离所述半导体层的一面;

第二钝化层,在所述第一凹槽的外侧,所述第二钝化层设置在所述第一绝缘层背离所述漏极层的一面,在所述第一凹槽内,所述第二钝化层设置在所述第一栅极层背离所述第一绝缘层的一面。

可选地,在所述衬板和所述源极层之间,还包括:

第二绝缘层,所述第二绝缘层设置在所述衬板上,所述第二绝缘层背离所述衬板的一面设置第二凹槽;

第二栅极层,所述第二栅极层设置在所述第二凹槽内;

第三绝缘层,在所述第二凹槽外,所述第三绝缘层设置的所述第二绝缘层背离所述衬板的一面,在所述第二凹槽内,所述第三绝缘层设置在所述第二栅极层背离所述第二绝缘层的一面。

可选地,所述第一凹槽的横截面的形状包括:三角形;所述三角形的顶角朝向所述衬板。

可选地,所述第一凹槽的横截面的形状包括:梯形;所述梯形的第一底边朝向所述衬板,所述梯形的第二底边远离所述衬板;所述第一底边小于所述第二底边。

可选地,所述第二凹槽的横截面的形状与所述第一凹槽的横截面的形状相同。

本发明第二方面提供一种显示装置,包括上述任意一项所述的显示背板、

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