[发明专利]蒸镀掩模、组件、装置、显示装置及其制造方法和装置有效
申请号: | 202011296107.7 | 申请日: | 2020-11-18 |
公开(公告)号: | CN115627442B | 公开(公告)日: | 2023-09-19 |
发明(设计)人: | 蓝秋亮 | 申请(专利权)人: | 匠博先进材料科技(广州)有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/24 |
代理公司: | 深圳市华盛智荟知识产权代理事务所(普通合伙) 44604 | 代理人: | 胡国英 |
地址: | 510000 广东省广州市黄埔区香山路9*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 蒸镀掩模 组件 装置 显示装置 及其 制造 方法 | ||
1.一种蒸镀掩模制造方法,所述蒸镀掩模在蒸镀材料向蒸镀基板的蒸镀中被使用,所述蒸镀掩模包括:
第一面侧,其构成所述蒸镀掩模面对所述蒸镀基板的一侧;
第二面侧,其构成所述蒸镀掩模与所述第一面侧相反的一侧;及
贯通孔,其贯穿所述第一面侧与所述第二面侧,
其特征在于,该方法包括步骤:
提供一包括上表面及与上表面相对的下表面的金属卷材,所述金属卷材的厚度T满足关系式:10um≤T≤40um;
分别在所述金属卷材的上表面及下表面真空贴合干膜光阻,通过曝光显影将所述干膜光阻图案化;
通过图案化的所述干膜光阻刻蚀所述上表面形成第一面侧,所述第一面侧至少包括若干第一凹部,所述第一凹部向所述下表面凹陷;
在所述第一面侧真空贴合树脂以填埋所述第一凹部;
通过图案化的所述干膜光阻刻蚀所述下表面形成第二面侧,所述第二面侧包括若干个第二凹部和若干个第二支撑部,所述第二凹部与所述第一凹部相贯穿形成贯通孔,所述第二支撑部为平面,且所述第二支撑部至所述上表面的厚度等于金属卷材的厚度T,所述第二凹部包括第二开口及第二刻蚀面,所述第二开口与所述第二支撑部相连,且所述第二刻蚀面连接所述第二开口与所述贯通孔,相邻的两个第二刻蚀面相交形成凸起部,所述凸起部沿背离所述上表面的方向凸起;定义所述凸起部至所述上表面的厚度为H2,且满足关系式:0.3T≤H2≤0.8T;
剥离所述树脂及所述干膜光阻;
裁剪所述金属卷材形成若干金属片材;
剪裁所述金属片材形成若干条状的蒸镀掩模;
其中,所述贯通孔包括多个横向贯通孔和多个纵向贯通孔,所述横向贯通孔沿所述金属卷材的板面横向等间隔排列,所述纵向贯通孔沿所述金属卷材的板面纵向等间隔排列;所述横向贯通孔与所述纵向贯通孔交叉分布形成网格状阵列;
所述第一凹部包括横向第一凹部和纵向第一凹部,所述横向第一凹部与所述横向贯通孔相对应,所述纵向第一凹部与所述纵向贯通孔相对应;
所述第二凹部包括横向第二凹部和纵向第二凹部,所述横向第二凹部与所述横向贯通孔相对应,所述纵向第二凹部与所述纵向贯通孔相对应;定义所述上表面的任意两个相邻且交叉分布的所述横向第一凹部与纵向第一凹部之间的距离为W1,且满足关系式:
0.4W1≤H2≤0.9W1+5um;
定义所述上表面的任意两个相邻的所述横向第一凹部之间或任意两个相邻的所述纵向第一凹部之间的距离为W2,
定义所述下表面的任意两个相邻的所述横向第二凹部之间或任意两个相邻的所述纵向第二凹部之间的距离为W3,且满足关系式:
W3<W2;
0.5W2≤T≤0.9(W2-W3)+5um;
10um≤W2;
3um≤W3。
2.一种制造装置,其特征在于,其用于实施如权利要求1所述的蒸镀掩模制造方法。
3.一种蒸镀掩模,其特征在于:其通过如权利要求1所述的蒸镀掩模制造方法制造获得。
4.一种蒸镀掩模组件,其特征在于,包括如权利要求3所述的蒸镀掩模。
5.一种蒸镀掩模装置,其特征在于,包括如权利要求4所述的蒸镀掩模组件。
6.一种有机显示装置,其特征在于,该有机显示装置通过如权利要求5所述的蒸镀掩模装置进行蒸镀获得。
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