[发明专利]蒸镀掩模、组件、装置、显示装置及其制造方法和装置

说明书

本发明提供了一种蒸镀掩模制造方法，该方法包括步骤：提供金属卷材；分别在所述金属卷材的上表面及下表面真空贴合干膜光阻，通过曝光显影将所述干膜光阻图案化；通过图案化的所述干膜光阻刻蚀所述上表面形成第一面侧，在所述第一面侧真空贴合树脂以填埋所述第一凹部；通过图案化的所述干膜光阻刻蚀所述下表面形成第二面侧，所述第二面侧包括若干个第二凹部，所述第二凹部包括第二刻蚀面，相邻的两个第二刻蚀面相交形成凸起部，所述凸起部沿背离所述上表面的方向凸起；定义所述凸起部至所述上表面的厚度为H2，且满足关系式：0.3T≤H2≤0.8T，使得金属掩模既保持刚性，又减小蒸镀时阴影影响，最终实现无混色的优良有机EL基板。

【技术领域】

本发明涉及光学掩模板技术领域，尤其涉及一种蒸镀掩模、组件、装置、显示装置及其制造方法和装置。

【背景技术】

近年来，智能手机和平板电脑等移动终端上使用的显示器要求非常精细(像素数:400ppi以上)。未来，面向移动终端将被要求使用ultra high difinision(UHD，超高清分辨率)，并且预计将要求更高精细(像素数:800ppi)的OLED面板。OLED面板制造中需要使用蒸镀掩模，为了对应OLED面板的高精细化，蒸镀掩模也需要高精细化，蒸镀掩模的厚度太大会在被蒸镀工件上留下未被蒸镀充分的阴影，影响蒸镀效果，采用厚度更小的蒸镀掩模有利于提高精细化，但厚度太小会降低刚性而引起形变，因此有必要提供一种蒸镀时受阴影影响小且保持优秀刚性的蒸镀掩模及其制造方法。

【发明内容】

本发明的目的在于提供一种蒸镀时受阴影影响小且保持优秀刚性的蒸镀掩模及其制造方法。

本发明的技术方案如下：一种蒸镀掩模制造方法，所述蒸镀掩模在蒸镀材料向蒸镀基板的蒸镀中被使用，所述蒸镀掩模包括：

第一面侧，其构成所述蒸镀掩模面对所述蒸镀基板的一侧；

第二面侧，其构成所述蒸镀掩模与所述第一面侧相反的一侧；及

贯通孔，其贯穿所述第一面侧与所述第二面侧，

该方法包括步骤：

提供一包括上表面及与上表面相对的下表面的金属卷材，所述金属卷材的厚度T满足关系式：10um≤T≤40um；

分别在所述金属卷材的上表面及下表面真空贴合干膜光阻，通过曝光显影将所述干膜光阻图案化；

通过图案化的所述干膜光阻刻蚀所述上表面形成第一面侧，所述第一面侧至少包括若干第一凹部，所述第一凹部向所述下表面凹陷；

在所述第一面侧真空贴合树脂以填埋所述第一凹部；

通过图案化的所述干膜光阻刻蚀所述下表面形成第二面侧，所述第二面侧包括若干个第二凹部和若干个第二支撑部，所述第二支撑部为平面，且所述第二支撑部至所述上表面的厚度等于金属卷材的厚度T，所述第二凹部包括第二开口及第二刻蚀面，所述第二开口与所述第二支撑部相连，且所述第二刻蚀面连接所述第二开口与所述贯通孔，相邻的两个第二刻蚀面相交形成凸起部，所述凸起部沿背离所述上表面的方向凸起；定义所述凸起部至所述上表面的厚度为H2，且满足关系式：0.3T≤H2≤0.8T；

剥离所述树脂及所述干膜光阻；

裁剪所述金属卷材形成若干金属片材；

剪裁所述金属片材形成若干条状的蒸镀掩模。

更优地，所述贯通孔包括多个横向贯通孔和多个纵向贯通孔，所述横向贯通孔沿所述金属卷材的板面横向等间隔排列，所述纵向贯通孔沿所述金属卷材的板面纵向等间隔排列；所述横向贯通孔与所述纵向贯通孔交叉分布形成网格状阵列。