[发明专利]蒸镀掩模、组件、装置、显示装置及其制造方法和装置

权利要求书

1.一种蒸镀掩模制造方法，所述蒸镀掩模在蒸镀材料向蒸镀基板的蒸镀中被使用，所述蒸镀掩模包括：

第一面侧，其构成所述蒸镀掩模面对所述蒸镀基板的一侧；

第二面侧，其构成所述蒸镀掩模与所述第一面侧相反的一侧；及

贯通孔，其贯穿所述第一面侧与所述第二面侧，

其特征在于，该方法包括步骤：

提供一包括上表面及与上表面相对的下表面的金属卷材，所述金属卷材的厚度T满足关系式：5um≤T≤40um；

分别在所述金属卷材的上表面及下表面真空贴合干膜光阻，通过曝光显影将所述干膜光阻图案化；

通过图案化的所述干膜光阻刻蚀所述上表面形成第一面侧，所述第一面侧至少包括若干第一凹部，所述第一凹部包括第一开口及第一刻蚀面，所述第一开口与所述上表面平齐，所述第一刻蚀面为自所述第一开口向所述下表面凹陷形成的面；

在所述第一面侧真空贴合树脂以填埋所述第一凹部；

通过图案化的所述干膜光阻刻蚀所述下表面形成第二面侧，所述第二面侧至少包括若干第二凹部，所述第二凹部向所述上表面凹陷，所述第二凹部与所述第一凹部相贯穿形成贯通孔，且所述第一刻蚀面连接所述第一开口与所述贯通孔；定义一垂直所述上表面与所述下表面的纵截面，且所述第一开口的纵截面宽度为D，所述贯通孔的纵截面宽度为F，满足关系式：1um≤D-F≤4um；

剥离所述树脂及所述干膜光阻；

裁剪所述金属卷材形成若干金属片材；

剪裁所述金属片材形成若干条状的蒸镀掩模。

2.根据权利要求1所述的蒸镀掩模制造方法，其特征在于：所述干膜光阻热压贴合于所述金属卷材的上表面及下表面。

3.根据权利要求2所述的蒸镀掩模制造方法，其特征在于：所述干膜光阻通过热压贴合于所述金属卷材的上表面及下表面之前，先对所述金属卷材预加热。

4.根据权利要求1所述的蒸镀掩模制造方法，其特征在于：所述干膜光阻包括第一干膜光阻和第二干膜光阻，所述第一干膜光阻热压贴合于所述金属卷材的上表面，所述第二干膜光阻热压贴合于所述金属卷材的下表面。

5.根据权利要求1所述的蒸镀掩模制造方法，其特征在于：所述树脂为热可塑性耐酸树脂。

6.一种制造装置，其特征在于，其用于实施如权利要求1-5任一所述的蒸镀掩模制造方法，所述制造装置包括：

收卷机，其用于收卷及释放金属卷材，所述金属卷材的厚度T满足关系式：5um≤T≤40um；

第一贴合设备，其用于在金属卷材的上表面及下表面真空贴合干膜光阻；

曝光设备，其用于对所述干膜光阻曝光；

显影设备，其用于对所述干膜光阻显影以实现图案化；

第一刻蚀设备，其通过图案化的所述干膜光阻刻蚀所述上表面形成第一面侧；所述第一面侧至少包括若干第一凹部，所述第一凹部包括第一开口及第一刻蚀面，所述第一开口与所述上表面平齐，所述第一刻蚀面为自所述第一开口向所述下表面凹陷形成的面；

第二贴合设备，在所述第一面侧真空贴合树脂以填埋所述第一凹部；

第二刻蚀设备，其通过图案化的所述干膜光阻刻蚀所述下表面形成第二面侧，所述第二面侧至少包括若干第二凹部，所述第二凹部向所述上表面凹陷，所述第二凹部与所述第一凹部相贯穿形成贯通孔，且所述第一刻蚀面连接所述第一开口与所述贯通孔；定义一垂直所述上表面与所述下表面的纵截面，且所述第一开口的纵截面宽度为D，所述贯通孔的纵截面宽度为F，满足关系式：1um≤D-F≤4um；

剥离设备，其用于剥离所述树脂及所述干膜光阻；

第一裁剪设备，其用于裁剪所述金属卷材形成若干金属片材；

第二裁剪设备，其用于剪裁所述金属片材形成若干条状的蒸镀掩模。

7.根据权利要求6所述的制造装置，其特征在于：所述曝光设备为竖立式，所述金属卷材自上而下通过所述曝光设备进行曝光。

8.根据权利要求6所述的制造装置，其特征在于：所述曝光设备至少包括第一曝光掩模和第二曝光掩模，所述第一曝光掩模与所述第二曝光掩模间隔设置。