[发明专利]一种薄膜渗透检测的多腔测试结构、系统及方法

权利要求书

1.一种薄膜渗透检测的多腔测试结构，其特征在于，包括均设有开口的第一腔体、公共腔体和第二腔体，公共腔体位于第一腔体和第二腔体之间，且公共腔体包括多个相互连通的内腔；

第一腔体包括至少一个第一内腔，第一内腔开口与公共腔体的内腔开口位置相对，第二腔体包括至少一个第二内腔，第二内腔开口与公共腔体的内腔开口位置相对。

2.如权利要求1所述的薄膜渗透检测的多腔测试结构，其特征在于，第一腔体上开有与第一内腔连通的第一进气口和第一出气口，第二腔体上开有与第二内腔连通的第二进气口和第二出气口；

第一腔体上还开有第三进气口和第三出气口，第三进气口和第二进气口连通，第三出气口和第二出气口连通。

3.如权利要求1所述的薄膜渗透检测的多腔测试结构，其特征在于，公共腔体上开有与公共腔体的内腔连通的第四进气口和第四出气口；

第一腔体上还开有第五进气口和第五出气口，第五进气口和第四进气口连通，第五出气口和第四出气口连通。

4.如权利要求1所述的薄膜渗透检测的多腔测试结构，其特征在于，还包括压紧机构，压紧机构包括固定件、活动件、连接件和驱动件，活动件的一端与固定件活动连接，活动件的另一端与连接件活动连接，固定件与第一腔体或者固定用底面固定连接；

连接件上设有与第一腔体配合的锁紧机构，驱动件与活动件固定连接，且驱动件的动端穿过活动件用于与第二腔体接触并压紧测试腔体。

5.一种薄膜渗透检测的多腔测试系统，其特征在于，包括固定在基板上的至少一个权利要求1-4任一项所述的薄膜渗透检测的多腔测试结构。

6.一种薄膜渗透检测方法，其特征在于，利用权利要求1-4任一项所述的薄膜渗透检测的多腔测试结构，包括以下步骤：

第一腔体的第五进气口接通试验气体，第一腔体的第一进气口和第三进气口接通载气；

试验气体通过第一腔体上第五进气口进入公共腔体上的相通的各个内腔，部分试验气体经第四出气口排出，部分试验气体透过试样进入第一腔体的内腔和第二腔体的内腔；

被第一腔体和第二腔体的载气分别经第一出气口和第三出气口载出，进入传感器进行气体分析，完成测试；

或者，

第一腔体的第五进气口接通载气，第一腔体的第一进气口和第三进气口接通试验气体；

载气通过第一腔体上第五进气口进入公共腔体上的相通的各个内腔，试验气体分别通过第一进气口和第二进气口进入第一腔体的内腔和第二腔体的内腔；

试验气体透过试样进入公共腔体的内腔，被载气经第五出气口载出，进入传感器进行气体分析，完成测试。

7.一种薄膜渗透检测的多腔测试结构，其特征在于，包括均设有开口的第一腔体、公共腔体和第二腔体，公共腔体位于第一腔体和第二腔体之间，且公共腔体包括多个互不连通的内腔；

第一腔体包括至少一个第一内腔，第一内腔开口与公共腔体的对应内腔开口位置相对，第二腔体包括至少一个第二内腔，第二内腔开口与公共腔体的对应内腔开口位置相对。

8.如权利要求7所述的薄膜渗透检测的多腔测试结构，其特征在于，第一腔体上开有与第一内腔连通的第一进气口和第一出气口，第二腔体上开有与第二内腔连通的第二进气口和第二出气口；

第一腔体上还开有第三进气口和第三出气口，第三进气口和第二进气口连通，第三出气口和第二出气口连通；

或者，

公共腔体上开有与公共腔体的内腔连通的第四进气口和第四出气口，且每个公共腔体的内腔均开有独立的第四进气口和第四出气口；

第一腔体上还开有多个第五进气口和第五出气口，第五进气口和第四进气口一一配合连通，第五出气口和第四出气口一一配合连通；

或者，

还包括压紧机构，压紧机构包括固定件、活动件、连接件和驱动件，活动件的一端与固定件活动连接，活动件的另一端与连接件活动连接，固定件与第一腔体或者固定用底面固定连接；

连接件上设有与第一腔体配合的锁紧机构，驱动件与活动件固定连接，且驱动件的动端穿过活动件用于与第二腔体接触并压紧测试腔体。