[发明专利]一种Halbach永磁体结构的磁控溅射靶枪

权利要求书

1.一种Halbach永磁体结构的磁控溅射靶枪，其特征是，包括水冷头、磁靶基座、绝缘陶瓷板、磁靶和靶罩；所述基座安装在水冷头上，所述磁靶放置在所述基座上，所述绝缘陶瓷板安装在所述基座与所述磁靶之间，所述靶罩套在磁靶外面起到溅射高压阴极，以及防止靶材和磁靶污染；

所述磁靶基座由高导热率的无氧铜加工而成，在所述磁靶基座内设有容纳磁铁组的凹槽，起到固定和冷却磁靶的作用；磁靶是由一个轴向磁化的环状永磁体、一个径向磁化环状或组合环状永磁体和一个轴向磁化圆柱型永磁体按照哈尔巴赫阵列结构排列的永磁体组；所述哈尔巴赫永磁体组放置在所述磁靶基座的凹槽内，所述靶材置于所述永磁体组上方；

在所述磁靶基座下端设有内螺纹孔，在所述绝缘陶瓷板上设有相应的通孔，设有螺丝杆穿过陶瓷绝缘端子、无氧铜制备的水冷头和绝缘陶瓷板，固定在所述磁靶基座的内螺纹孔上；

所述无氧铜制备的水冷头包括无氧铜冷头和无氧铜连接件两部分；所述无氧铜冷头为上端封闭的圆筒形结构，设有不锈钢管，不锈钢管顶部与所述无氧铜冷头密封银焊焊接；在所述无氧铜冷头上用四个M4螺丝链接所述无氧铜连接件，所述无氧铜连接件侧边设有外螺纹，用于安装靶罩，并能按需调节其与靶材之间的高度，在所述无氧铜连接件外环位置均匀设有若干通孔，其上设置有螺丝杆；其中一螺丝杆与设有的法兰上设置的真空陶封电极上端通过导线连接；

所述永磁体组包括三个磁铁：一个轴向磁化的环状永磁体，一个径向磁化环状或组合环状永磁体，一个轴向磁化圆柱型永磁体且三者同心；轴向磁化的环状永磁体在最外环，径向磁化环状或组合环状永磁体在中环，均包裹轴向磁化圆柱型永磁体；

根据装载空间情况，所述无氧铜冷头和所述无氧铜连接件制备成一体；

本靶枪设计尺寸为装载直径一英寸的靶材。