[发明专利]一种用于半导体的全自动AA设备

权利要求书

1.一种用于半导体的全自动AA设备，其特征在于，包括工作板，所述工作板上分别设置输送模组、检测模组、夹取模组、收料模组、静电消除器和气源模组，所述输送模组设置与所述工作板中部，所述输送模组一端顶上设置静电消除器，所述输送模组另一端顶上设置夹取模组，所述输送模组一侧设置检测模组，所述输送模组另一侧平行设置所述收料模组，所述检测模组一侧设置气源模组，所述检测模组设置为AA装置，所述AA装置包括AA架、第一AA组件、第二AA组件和检测模组，所述AA架设置与所述工作板上，所述AA架上设置第一AA组件，所述第一AA组件上设置所述第二AA组件，所述第二AA组件上设置检测模组。

2.根据权利要求1所述的一种用于半导体的全自动AA设备，其特征在于，所述第一AA组件包括AA底板、AA滑轨、AA电机、AA丝杆、AA滑动块和AA移动块，所述AA底板设置与AA架上，所述AA滑轨设置与AA底板上，所述AA底板一端设置AA载板，所述AA载板上设置AA电机，所述AA电机连接AA丝杆一端，所述AA丝杆另一端穿过所述AA滑动块设置，所述AA滑动块设置与所述AA滑轨内，所述AA移动块设置与所述AA滑动块上。

3.根据权利要求1所述的一种用于半导体的全自动AA设备，其特征在于，所述检测模组包括检测底板、检测滑轨、检测气缸、检测滑块、检测滑杆、检测架和检测器，所述检测底板设置与AA第二组件上，所述检测滑轨设置与所述检测底板上，所述检测底板侧面设置检测气缸，所述检测滑块设置于所述检测滑轨内，所述检测气缸连接所述检测滑轨一端，所述检测滑杆另一端穿过检测滑块设置，所述检测架设置与所述检测滑块上，所述检测器设置与所述检测架上。

4.根据权利要求1所述的一种用于半导体的全自动AA设备，其特征在于，所述静电消除器包括离子风支架、静电支板和消除器，所述离子风支架设置与工作板上且处于输送模组一端上方，所述静电支板一侧面设置与所述离子风支架一侧面，所述静电支板另一侧面上设置消除器。

5.根据权利要求1所述的一种用于半导体的全自动AA设备，其特征在于，所述夹取模组包括夹取架、滑动气缸、第一滑动L板、第二滑动L板、夹取滑轨、第一夹取气缸、第二夹取气缸、第一夹取夹爪和第二夹取夹爪，所述夹取架设置与工作板上，所述滑动气缸设置与所述夹取架顶上，所述夹取架一侧面设置所述夹取滑轨，所述滑动气缸分别设置第一滑动L板与第二滑动L板一端，所述第一滑动L板与第二滑动L板另一端分别通过第一滑块和第二滑块设置与所述夹取滑轨上，所述第一滑动L板与第二滑动L板一侧面上分别设置第一夹取气缸和第二夹取气缸，所述第一夹取气缸和第二夹取气缸底端分别设置第一夹取夹爪和第二夹取夹爪。

6.根据权利要求1所述的一种用于半导体的全自动AA设备，其特征在于，所述收料模组包括收料架、收料电机、收料轨道、收料转轴和收料轴套，所述收料架设置与工作板上，所述收料轨道设置与所述收料架上，所述收料电机设置与所述收料架一侧面，所述收料电机上设置收料轴承，所述收料轨道内设置收料转轴，所述收料转轴一端通过收料同步带与所述收料轴套连接。

7.根据权利要求1所述的一种用于半导体的全自动AA设备，其特征在于，所述气源模组包括气源支架、电磁阀和气源件，所述气源支架设置与工作板上，所述电磁阀和气源件平行设置且均设置与所述气源支架上。

8.根据权利要求1所述的一种用于半导体的全自动AA设备，其特征在于，所述工作板上设置旋转机械手。