[发明专利]包括容纳包封物嵌埋的半导体裸片的罐的半导体装置在审
申请号: | 202011335846.2 | 申请日: | 2020-11-25 |
公开(公告)号: | CN112838061A | 公开(公告)日: | 2021-05-25 |
发明(设计)人: | 林慧莉;杜润鸿;叶炳良 | 申请(专利权)人: | 英飞凌科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/31 | 分类号: | H01L23/31;H01L21/56;H01L23/488;H01L21/60 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 周家新 |
地址: | 德国瑙伊*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 包括 容纳 包封物嵌埋 半导体 装置 | ||
1.一种半导体装置(10),包括:
导电罐(11),其包括平坦部分(11A)和从平坦部分(11A)的边缘延伸的至少一个外围边沿部分(11B);
半导体裸片(12),其包括第一主面、与第一主面相反的第二主面、设置在第一主面上的第一接触焊盘(12A)和设置在第二主面上的第二接触焊盘(12B),其中,第一接触焊盘(12A)电连接到罐(11)的平坦部分(11A);
电互连器(13),其与第二接触焊盘(12A)连接;和
包封物(14),其设置在半导体裸片(12)之下而包围电互连器(13),
其中,电互连器(13)的外表面从包封物(14)的外表面凹入。
2.根据权利要求1所述的半导体装置(10),其中
包封物(14)被设置成填充半导体裸片(12)与罐(11)的平坦部分(11A)和边沿(11B)之间的空间。
3.根据权利要求1或2所述的半导体装置(10),其中
罐(11)的顶表面被包封物(14)暴露或未被包封物(14)覆盖。
4.根据前述权利要求中任一项所述的半导体装置(10),其中
电互连器(13)的高度在包封物(14)的高度的40%至80%的范围内,其中,所述高度是从半导体裸片(12)的第二主面测量的。
5.根据前述权利要求中任一项所述的半导体装置(10),其中
包封物(14)包括有机环氧化合物、环氧树脂和联苯环氧树脂中的一种或多种。
6.根据前述权利要求中任一项所述的半导体装置(10),其中
包封物(14)包括填充材料、特别是SiO的颗粒。
7.根据前述权利要求中任一项所述的半导体装置(10),其中
电互连器(13)包括基于焊料的合金、Sn/Ag/Cu的合金和铜柱中的一种或多种。
8.根据前述权利要求中任一项所述的半导体装置(10),其中
在电互连器(13)的外表面上没有设置焊料。
9.根据前述权利要求中任一项所述的半导体装置(10),其中
半导体裸片(12)包括具有端子的功率半导体裸片,其中,边沿部分(11B)与一个端子连接,一个或多个电互连器(13)与其它端子连接。
10.一种半导体装置(20),包括:
导电罐(21),其包括平坦部分(21A)和从平坦部分(21A)的边缘延伸的至少一个外围边沿部分(21B);
半导体裸片(22),其包括第一主面、与第一主面相反的第二主面、设置在第一主面上的第一接触焊盘(22A)和设置在第二主面上的第二接触焊盘(22B),其中,第一接触焊盘(22A)电连接到罐(21)的平坦部分(21A);
电互连器(23),其与第二接触焊盘(22B)连接;和
包封物(24),其设置在半导体裸片(22)之下而包围电互连器(23),
其中,电互连器(23)的外表面从包封物(24)的外表面突出,其中,包封物被配置成包围电互连器的高度的至少40%。
11.根据权利要求10所述的半导体装置(20),其中
包封物(24)被设置成填充半导体裸片(22)与罐(21)的平坦部分(21A)和边沿部分(21B)之间的空间。
12.根据权利要求10或11所述的半导体装置(20),其中
罐(21)的顶表面被包封物暴露或未被包封物覆盖。
13.根据权利要求10-12中任一项所述的半导体装置(20),其中
电互连器(23)的突出部分在电互连器(23)的总高度的20%至40%的范围内。
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