[发明专利]包括容纳包封物嵌埋的半导体裸片的罐的半导体装置在审

专利信息
申请号: 202011335846.2 申请日: 2020-11-25
公开(公告)号: CN112838061A 公开(公告)日: 2021-05-25
发明(设计)人: 林慧莉;杜润鸿;叶炳良 申请(专利权)人: 英飞凌科技股份有限公司
主分类号: H01L23/31 分类号: H01L23/31;H01L21/56;H01L23/488;H01L21/60
代理公司: 永新专利商标代理有限公司 72002 代理人: 周家新
地址: 德国瑙伊*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 包括 容纳 包封物嵌埋 半导体 装置
【权利要求书】:

1.一种半导体装置(10),包括:

导电罐(11),其包括平坦部分(11A)和从平坦部分(11A)的边缘延伸的至少一个外围边沿部分(11B);

半导体裸片(12),其包括第一主面、与第一主面相反的第二主面、设置在第一主面上的第一接触焊盘(12A)和设置在第二主面上的第二接触焊盘(12B),其中,第一接触焊盘(12A)电连接到罐(11)的平坦部分(11A);

电互连器(13),其与第二接触焊盘(12A)连接;和

包封物(14),其设置在半导体裸片(12)之下而包围电互连器(13),

其中,电互连器(13)的外表面从包封物(14)的外表面凹入。

2.根据权利要求1所述的半导体装置(10),其中

包封物(14)被设置成填充半导体裸片(12)与罐(11)的平坦部分(11A)和边沿(11B)之间的空间。

3.根据权利要求1或2所述的半导体装置(10),其中

罐(11)的顶表面被包封物(14)暴露或未被包封物(14)覆盖。

4.根据前述权利要求中任一项所述的半导体装置(10),其中

电互连器(13)的高度在包封物(14)的高度的40%至80%的范围内,其中,所述高度是从半导体裸片(12)的第二主面测量的。

5.根据前述权利要求中任一项所述的半导体装置(10),其中

包封物(14)包括有机环氧化合物、环氧树脂和联苯环氧树脂中的一种或多种。

6.根据前述权利要求中任一项所述的半导体装置(10),其中

包封物(14)包括填充材料、特别是SiO的颗粒。

7.根据前述权利要求中任一项所述的半导体装置(10),其中

电互连器(13)包括基于焊料的合金、Sn/Ag/Cu的合金和铜柱中的一种或多种。

8.根据前述权利要求中任一项所述的半导体装置(10),其中

在电互连器(13)的外表面上没有设置焊料。

9.根据前述权利要求中任一项所述的半导体装置(10),其中

半导体裸片(12)包括具有端子的功率半导体裸片,其中,边沿部分(11B)与一个端子连接,一个或多个电互连器(13)与其它端子连接。

10.一种半导体装置(20),包括:

导电罐(21),其包括平坦部分(21A)和从平坦部分(21A)的边缘延伸的至少一个外围边沿部分(21B);

半导体裸片(22),其包括第一主面、与第一主面相反的第二主面、设置在第一主面上的第一接触焊盘(22A)和设置在第二主面上的第二接触焊盘(22B),其中,第一接触焊盘(22A)电连接到罐(21)的平坦部分(21A);

电互连器(23),其与第二接触焊盘(22B)连接;和

包封物(24),其设置在半导体裸片(22)之下而包围电互连器(23),

其中,电互连器(23)的外表面从包封物(24)的外表面突出,其中,包封物被配置成包围电互连器的高度的至少40%。

11.根据权利要求10所述的半导体装置(20),其中

包封物(24)被设置成填充半导体裸片(22)与罐(21)的平坦部分(21A)和边沿部分(21B)之间的空间。

12.根据权利要求10或11所述的半导体装置(20),其中

罐(21)的顶表面被包封物暴露或未被包封物覆盖。

13.根据权利要求10-12中任一项所述的半导体装置(20),其中

电互连器(23)的突出部分在电互连器(23)的总高度的20%至40%的范围内。

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