[发明专利]一种微型溅射离子泵等离子体诊断装置及诊断方法

权利要求书

1.一种微型溅射离子泵等离子体诊断装置，其特征在于，包括：角阀(1)、分子泵(2)、机械泵(3)、等离子体诊断器(4)和容纳泵腔体(5)；

其中，角阀(1)的一端顺次连接分子泵(2)和机械泵(3)，角阀(1)的另一端与容纳泵腔体(5)连接；容纳泵腔体(5)上设有磁悬浮转子计(9)和第一阀门(10)；第一阀门(10)通过供气管路(8)与气体微流量计(7)连接；容纳泵腔体(5)与等离子体诊断器(4)中的法兰盖(22)的底部固定；

等离子体诊断器(4)包括电机(13)、上部支架(15)、滑块(16)、光杆(18)、底部支架(20)、法兰盖(22)和朗缪尔探针(23)；其中，法兰盖(22)通过螺栓与容纳泵腔体(5)固定连接，法兰盖(22)上均匀分布多根接线柱(21)，微型溅射离子泵(24)通过接线柱(21)悬挂在容纳泵腔体(5)中，并得到供电；底部支架(20)为轴心带通孔的圆柱体结构，且部分圆柱体穿过法兰盖(22)上设置的通孔，处于容纳泵腔体(5)内；底部支架(20)未处于容纳泵腔体(5)内圆柱体的端面向外侧延伸形成平台；光杆(18)为两个L型光滑圆柱杆，光杆(18)长边的端部与所述底部支架(20)的平台固定，短边的端部与位于法兰盖(22)上方的电机(13)固定；电机(13)底部接有丝杠(14)，丝杠(14)与上部支架(15)通过螺纹连接；上部支架(15)与滑块(16)固定，滑块(16)卡在光杆(18)上；波纹管(17)的一端与滑块(16)连接，另一端与底部支架(20)密封连接；朗缪尔探针(23)的一端固定在滑块(16)的底部，另一端通过波纹管(17)、底部支架(20)通孔伸入微型溅射离子泵(24)侧边空隙中。

2.如权利要求1所述的微型溅射离子泵等离子体诊断装置，其特征在于，还包括测试罩(6)，测试罩(6)位于角阀(1)和容纳泵腔体(5)之间，且与角阀(1)和容纳泵腔体(5)连通；容纳泵腔体(5)上的磁悬浮转子计(9)、第一阀门(10)和第二阀门(11)均设在测试罩(6)上。

3.如权利要求2所述的微型溅射离子泵等离子体诊断装置，其特征在于，所述测试罩(6)上还设有第二阀门(11)，第二阀门(11)与电离真空计(12)连接，用于测量测试罩(6)内压力。

4.如权利要求1所述的微型溅射离子泵等离子体诊断装置，其特征在于，所述容纳泵腔体(5)上还设有第二阀门(11)，第二阀门(11)与电离真空计(12)连接，用于测量容纳泵腔体(5)内压力。

5.如权利要求1所述的微型溅射离子泵等离子体诊断装置，其特征在于，所述朗缪尔探针为钨丝材质，探针前端直径0.175毫米。

6.如权利要求1所述的微型溅射离子泵等离子体诊断装置，其特征在于，所述底部支架(20)上焊有垫片(19)，垫片(19)的另一端焊接波纹管(17)。