[发明专利]一种调控甲基丙烯酸树脂分子量的方法在审
申请号: | 202011473012.8 | 申请日: | 2020-12-15 |
公开(公告)号: | CN112694558A | 公开(公告)日: | 2021-04-23 |
发明(设计)人: | 陈鹏;马潇;顾大公;毛智彪;许从应 | 申请(专利权)人: | 宁波南大光电材料有限公司 |
主分类号: | C08F220/14 | 分类号: | C08F220/14;C08F220/18;C08F2/48;G03F7/004 |
代理公司: | 深圳盛德大业知识产权代理事务所(普通合伙) 44333 | 代理人: | 贾振勇 |
地址: | 315800 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 调控 甲基丙烯酸 树脂 分子量 方法 | ||
本发明适用于高分子材料领域,提供了一种调控甲基丙烯酸树脂分子量的方法,包括如下步骤:将甲基丙烯酸树脂的单体置于玻璃瓶中;向玻璃瓶中加入光引发剂,混合均匀,得到预聚体,该光引发剂与所述甲基丙烯酸树脂的单体互溶,该预聚体中不包含溶剂;使用一定强度的光对玻璃瓶中的预聚体进行光辐射,使预聚体进行光聚合反应,得到甲基丙烯酸树脂。本发明的调控甲基丙烯酸树脂分子量的方法所使用的甲基丙烯酸树脂的单体与光引发剂可以互溶,不需要额外添加溶剂或乳液等媒介,可以有效的提高聚合反应速率和产率,减少成本,且后处理方便,不需要使用大量的试剂洗涤所制得的甲基丙烯酸树脂。
技术领域
本发明属于高分子材料领域,尤其涉及一种调控甲基丙烯酸树脂分子量的方法。
背景技术
光刻胶作为一种光敏材料,是集成电路精细加工技术的关键性加工材料。光刻胶的主要成分是聚合物树脂、光致产酸剂以及相应的添加剂和溶剂,其中,聚合物树脂的种类和性能在较大的程度上决定着光刻胶性能的优劣。
目前广泛应用于光刻胶的聚合物树脂是甲基丙烯酸树脂。通过添加不同分子量的甲基丙烯酸树脂可以有效的提高光刻胶的性能。目前,一般通过在乳液或者溶液中添加引发剂,进行自由基聚合反应来控制甲基丙烯酸树脂的分子量,但是,该方法需要大量的媒介,例如,乳液的制备需要大量的水、乳化剂和单体;溶液需要大量的溶剂,如四氢呋喃、丙二醇甲醚醋酸酯等。此外,在完成长时间的聚合反应后,还需要进行凝聚、洗涤纯化等后处理,才能获得最终的产品。因此,该方法弊端为媒介需求量大,成本高,工艺时间长。
发明内容
本发明实施例提供一种调控甲基丙烯酸树脂分子量的方法,旨在解决媒介需求量大的问题。
本发明实施例是这样实现的,一种调控甲基丙烯酸树脂分子量的方法,其包括如下步骤:
步骤S1:将甲基丙烯酸树脂的单体置于玻璃瓶中;
步骤S2:向玻璃瓶中加入光引发剂,混合均匀,得到预聚体,该光引发剂与所述甲基丙烯酸树脂的单体互溶,该预聚体中不包含溶剂;
步骤S3:使用一定强度的光对玻璃瓶中的预聚体进行光辐射,使预聚体进行光聚合反应,得到甲基丙烯酸树脂。
更进一步地,所述甲基丙烯酸树脂的单体为甲基丙烯酸甲酯、丙烯酸丁酯和2-甲基-2-金刚烷基甲基丙烯酸酯。
更进一步地,所述甲基丙烯酸甲酯、丙烯酸丁酯以及2-甲基-2-金刚烷基甲基丙烯酸酯的质量比的范围为(1~10):(1~10):(1~10)。
更进一步地,所述光引发剂为紫外光类引发剂,所述光为紫外光。
更进一步地,所述紫外光类引发剂为2-甲基-1-(4-甲硫基苯基)-2-吗啉-1-丙酮。
更进一步地,所述光引发剂的质量为甲基丙烯酸树脂的单体的总质量的1%~10%。
更进一步地,所述光照强度的范围为大于0小于等于200mW/cm2。
更进一步地,所述步骤S3之前还包括如下步骤:
将装有预聚体的玻璃瓶置于恒温水浴装置中,向玻璃瓶内通入惰性气体,以将玻璃瓶内的氧气排除。
更进一步地,所述恒温水浴装置的温度范围为25~50℃。
更进一步地,所述通入惰性气体的时长为10~60min。
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