[发明专利]半导体专用温控设备与负载装置联动控制系统及方法

权利要求书

1.一种半导体专用温控设备与负载装置联动控制系统，其特征在于，包括负载可编程逻辑控制器、负载人机界面、负载装置、温控可编程逻辑控制器、温控人机界面和温控设备；

负载装置由加热器、流量检测开关、温度保护开关、接触器和固态继电器组成；

温控设备包括制冷系统和循环系统；

制冷系统由压缩机、冷凝器、蒸发器和电子膨胀阀组成；

循环系统由循环泵、加热器、流量传感器、压力传感器、温度传感器、循环液箱和管路组成；

所述温控人机界面和所述温控设备分别与所述温控可编程逻辑控制器连接；

所述负载人机界面和所述负载装置分别与所述负载可编程逻辑控制器连接；

所述温控可编程逻辑控制器与所述负载可编程逻辑控制器连接。

2.根据权利要求1所述的半导体专用温控设备与负载装置联动控制系统，其特征在于，温控设备运行时，通过温控人机界面设定运行温度范围区间-40-150℃，分20个区间温度，设定温控设备运行时间。

3.根据权利要求1所述的半导体专用温控设备与负载装置联动控制系统，其特征在于，负载装置运行时，通过负载人机界面设定运行温度区间-40-150℃，分20个区间温度，设定负载加热器功率。

4.根据权利要求1所述的半导体专用温控设备与负载装置联动控制系统，其特征在于，所述加热器由多个加热棒组成。

5.基于权利要求1-4任一项所述半导体专用温控设备与负载装置联动控制系统的联动控制方法，其特征在于，包括：

通过负载人机界面设定负载加热器功率；

根据设定的负载加热器功率确定固态继电器占空比输出；

通过固态继电器控制加热器的加热量。

6.根据权利要求5所述的联动控制方法，其特征在于，所述负载装置的运行条件包括：

流量传感器检测到的流量正常；

温度传感器检测到的温度正常；

接触器的吸合状态正常。

7.一种应用于权利要求1-4任一项所述半导体专用温控设备与负载装置联动控制系统中的联动控制装置，其特征在于，包括：

设定模块，用于通过负载人机界面设定负载加热器功率；

确定模块，用于根据设定的负载加热器功率确定固态继电器占空比输出；

控制模块，用于通过固态继电器控制加热器的加热量。

8.一种电子设备，包括存储器、处理器及存储在所述存储器上并可在所述处理器上运行的计算机程序，其特征在于，所述处理器执行所述程序时实现如权利要求5至6任一项所述联动控制方法的步骤。

9.一种非暂态计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，所述计算机程序被处理器执行时实现如权利要求5至6任一项所述联动控制方法的步骤。