[发明专利]一种远程等离子源RPS腔体阳极氧化方法有效
| 申请号： | 202011565459.8 | 申请日： | 2020-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN112899747B | 公开（公告）日： | 2022-07-26 |
| 发明（设计）人： | 刘文丰;崔婷婷;皮昌全 | 申请（专利权）人： | 江苏神州半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C25D11/02 | 分类号： | C25D11/02 |
| 代理公司： | 南京源点知识产权代理有限公司 32545 | 代理人： | 黄晨 |
| 地址： | 225000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 远程 离子源 rps 阳极 氧化 方法 | ||
1.一种远程等离子源RPS腔体阳极氧化方法，其特征在于，包括如下步骤：
S1预处理：打磨基材，之后依次进行去脂、水洗、碱洗、中和和水洗操作，露出金属基体；
S2阳极氧化：将基材放置在电解液中作为阳极，施加电源进行硬质阳极氧化处理；
S3后处理：将经过步骤S2处理的基材水洗后，依次进行封孔和烘干操作，即得；
所述步骤S1 中的打磨基材操作为采用200-240目的百洁布将基材表面打磨至粗糙度0.5-0.7μm；
所述步骤S3中的封孔操作为将基材放置在35-45℃温水中放置5-10min，之后将基材取出加热至65-75℃，加热完成后将基材放入热水中，加热至90-95 ℃热封。
2.根据权利要求1所述的远程等离子源RPS腔体阳极氧化方法，其特征在于，所述步骤S1 中的去脂操作为采用弱碱性溶液加热清洗去除基材表面油脂，所述步骤S1中的碱洗操作为采用强碱溶液清洗去除基材表面自然氧化膜，所述步骤S1中的中和操作为采用酸性溶液清洗去除基材表面经过碱洗产生的挂灰。
3.根据权利要求1所述的远程等离子源RPS腔体阳极氧化方法，其特征在于，所述步骤S2中电源为直流叠加脉冲电源，电流密度为2-3.5A/dm2，初始电压为28-32V，且直流叠加脉冲电源的电压逐渐增大维持电流密度，所述直流叠加脉冲电源的终止电压为46-50V。
4.根据权利要求1所述的远程等离子源RPS腔体阳极氧化方法，其特征在于，所述基材由温水中取出后加热至65-75℃的加热速度为10℃/5min。
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