[发明专利]一种低损耗的拱柱芯微纳波导有效
| 申请号： | 202011599413.8 | 申请日： | 2020-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN112526674B | 公开（公告）日： | 2022-10-14 |
| 发明（设计）人： | 许吉;周天诺;杨昕泽;程慧超;郭晔翎;谢雨欣;刘宁;陆云清 | 申请（专利权）人： | 南京邮电大学 |
| 主分类号： | G02B6/122 | 分类号： | G02B6/122 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 董建林 |
| 地址： | 210003 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 损耗 拱柱芯微纳 波导 | ||
【权利要求书】：
1.一种低损耗的拱柱芯微纳波导，其特征在于，包括衬底；所述衬底的顶部两侧设置有支撑层；所述支撑层的顶部设置有金属层；两侧支撑层之间设置有高折射率层；所述高折射率层为拱柱状结构；所述高折射率层周围的空气构成低折射率区域；
所述金属层的材料为Ag；所述支撑层的材料为ZnO；所述高折射率层的材料为Si；所述衬底的材料为SiO2；
所述支撑层和金属层之间还设置有固定层；
所述固定层的材料为Si3N4。
2.根据权利要求1所述的一种低损耗的拱柱芯微纳波导，其特征在于，所述高折射率层的顶部和固定层之间的间隙为50nm。
3.根据权利要求1所述的一种低损耗的拱柱芯微纳波导，其特征在于，所述高折射率的折射率为3.478。
4.根据权利要求1所述的一种低损耗的拱柱芯微纳波导，其特征在于，所述拱柱状结构的宽度为300-600nm，拱柱状的矩形部分高度为100-250nm。
5.根据权利要求1所述的一种低损耗的拱柱芯微纳波导，其特征在于，所述金属层宽度为4000nm。
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