[发明专利]一种金刚石线切割硅废料的脱氧方法在审
申请号: | 202011618794.X | 申请日: | 2020-12-31 |
公开(公告)号: | CN112441588A | 公开(公告)日: | 2021-03-05 |
发明(设计)人: | 余文轴;杨帆;陈浩;魏鹏;张生富;党杰;游志雄;吕学伟;扈玫珑;刘许旸;辛云涛 | 申请(专利权)人: | 重庆大学 |
主分类号: | C01B33/037 | 分类号: | C01B33/037 |
代理公司: | 重庆博凯知识产权代理有限公司 50212 | 代理人: | 刘桢 |
地址: | 400044 *** | 国省代码: | 重庆;50 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 金刚石 切割 废料 脱氧 方法 | ||
1.一种金刚石线切割硅废料的脱氧方法,其特征在于,包括以下步骤:
(1)对硅废料进行预处理;
(2)把镁料和步骤(1)处理后的硅废料放置于反应器内不同位置处,将反应器放置于加热炉中,在真空或保护气氛围条件下加热至650℃~1200℃,保温5~200min,冷却后得到处理后的硅料;
(3)将步骤(2)冷却后得到的硅料进行酸洗、过滤、清洗、烘干处理,得到脱氧后的硅。
2.根据权利要求1所述金刚石线切割硅废料的脱氧方法,其特征在于,所述酸洗用酸为盐酸、硫酸、氢氟酸中的一种或几种混合。
3.根据权利要求1所述金刚石线切割硅废料的脱氧方法,其特征在于,所述酸洗用酸与硅废料的质量比为0.5~500:1。
4.根据权利要求1所述金刚石线切割硅废料的脱氧方法,其特征在于,所述酸洗时间为0.5~8h。
5.根据权利要求1所述金刚石线切割硅废料的脱氧方法,其特征在于,所述镁料为镁或镁合金或含镁合金,镁料中镁元素的质量分数不低于1%。
6.根据权利要求1所述金刚石线切割硅废料的脱氧方法,其特征在于,所述保护气为惰性保护气体。
7.根据权利要求1所述金刚石线切割硅废料的脱氧方法,其特征在于,所述硅废料与镁料中镁元素的质量比为1~100:1。
8.根据权利要求1所述金刚石线切割硅废料的脱氧方法,其特征在于,所述硅废料为太阳能级硅进行金刚石线切割后的硅废料或砂浆切割后的硅废料。
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