[实用新型]一种刻蚀装置

权利要求书

1.一种刻蚀装置，其特征在于，包括：

刻蚀槽体(1)，其用于盛放刻蚀药液；

多个滚轮组件(2)，多个所述滚轮组件(2)转动设置于所述刻蚀槽体(1)上，所述滚轮组件(2)用于承载待刻蚀件；

疏流管(3)，其两端均设置于所述刻蚀槽体(1)的槽壁上，并位于所述滚轮组件(2)的下方，所述疏流管(3)上设置有进液口和多个出液口(31)，所述进液口用于连通外部循环泵，多个所述出液口(31)沿所述疏流管(3)的轴线方向均匀且间隔设置，且所述出液口(31)的方向朝向所述刻蚀槽体(1)的内底面。

2.根据权利要求1所述的刻蚀装置，其特征在于，还包括安装块(4)，所述安装块(4)设置于所述刻蚀槽体(1)的内底面上，所述疏流管(3)设置于所述安装块(4)上，所述安装块(4)设置有与所述进液口连通的第一通孔(41)，所述第一通孔(41)连通于所述循环泵。

3.根据权利要求2所述的刻蚀装置，其特征在于，

所述疏流管(3)的数量为多个，多个所述疏流管(3)平行且间隔设置于所述刻蚀槽体(1)内；

所述安装块(4)的数量为多个，每个所述安装块(4)对应设置一个所述疏流管(3)。

4.根据权利要求1所述的刻蚀装置，其特征在于，所述刻蚀槽体(1)内还设置有疏流板(5)，所述疏流板(5)位于所述滚轮组件(2)和所述疏流管(3)之间，所述疏流板(5)上开设有疏流孔(51)。

5.根据权利要求4所述的刻蚀装置，其特征在于，所述疏流孔(51)的数量为多个，多个所述疏流孔(51)呈阵列分布于所述疏流板(5)上。

6.根据权利要求1-5任一项所述的刻蚀装置，其特征在于，所述滚轮组件(2)包括：

两个固定件(22)，两个所述固定件(22)分别滑动设置于所述刻蚀槽体(1)的两个相对的槽壁上；

辊轴(21)，所述辊轴(21)的两端分别固定于两个所述固定件(22)上；

调节部(23)，其被配置为调节所述辊轴(21)的轴线的高度。

7.根据权利要求6所述的刻蚀装置，其特征在于，所述刻蚀槽体(1)的两个相对的槽壁上均设置有多个与所述滚轮组件(2)一一对应的开口(12)，每个所述滚轮组件(2)的所述固定件(22)能够插接于一个所述开口(12)内并能够相对其滑动。

8.根据权利要求7所述的刻蚀装置，其特征在于，所述调节部(23)包括：

支撑部(231)，其固定于所述刻蚀槽体(1)的顶部，所述支撑部(231)上设置有第一连接孔；

连接件(232)，所述固定件(22)上对应所述第一连接孔设置有第二连接孔，所述连接件(232)依次穿设于所述第一连接孔和所述第二连接孔内。

9.根据权利要求7所述的刻蚀装置，其特征在于，所述开口(12)的内壁和所述固定件(22)中的一个上设置有卡凸(121)，另一个上设置有卡槽(221)，所述卡凸(121)能够卡接于所述卡槽(221)。

10.根据权利要求9所述的刻蚀装置，其特征在于，所述卡凸(121)的截面形状和所述卡槽(221)的截面形状均为T形结构。