[实用新型]一种用于特殊气体输送的气瓶柜

权利要求书

1.一种用于特殊气体输送的气瓶柜，其特征在于，包括：柜体(100)、控制显示操作单元(200)、工艺气体供应单元(300)、吹扫单元(400)、报警单元(500)、条码扫描枪(600)和本地紧急停止按钮(700)，所述控制显示操作单元(200)与柜体(100)连接，所述工艺气体供应单元(300)与柜体(100)内部连接，所述吹扫单元(400)与工艺气体供应单元(300)连接，所述报警单元(500)与柜体(100)和控制显示操作单元(200)连接，所述条码扫描枪(600)和本地紧急停止按钮(700)与柜体(100)表面连接，所述条码扫描枪(600)设于本地紧急停止按钮(700)正下方；

其中，所述工艺气体供应单元(300)包括：紧急关断阀(310)、高压气动隔离阀(320)、低压气动隔离阀(330)、气动吹扫隔离阀(340)、高压气体排放阀(350)、低压气体排放阀(360)、压力传感器(370)、调压阀(380)、过滤器(390)、隔离阀(3100)、工艺气体出口阀(3200)、真空隔离阀(3300)、真空发生器(3400)和工作管路(3500)，所述紧急关断阀(310)前端与钢瓶接口连接，所述紧急关断阀(310)后端通过工作管路(3500)与高压气动隔离阀(320)连接，所述紧急关断阀(310)后端的工作管路(3500)中设有压力传感器(370)，所述高压气动隔离阀(320)前端与工作管路(3500)中间设有过滤器(390)，所述高压气动隔离阀(320)后端与调压阀(380)连接，所述高压气动隔离阀(320)中间与高压气体排放阀(350)连接，所述低压气动隔离阀(330)前端与调压阀(380)后端的工作管路(3500)连接，所述调压阀(380)后端的工作管路(3500)中设有压力传感器(370)，所述低压气动隔离阀(330)后端与过滤器(390)连接，所述低压气动隔离阀(330)中间与低压气体排放阀(360)连接，所述隔离阀(3100)前端与过滤器(390)连接，所述隔离阀(3100)后端与工艺气体出口阀(3200)连接，所述工艺气体出口阀(3200)通过工作管路(3500)与柜体(100)外部连接，所述真空隔离阀(3300)前端与工作管路(3500)连接，所述真空隔离阀(3300)后端与真空发生器(3400)连接，所述真空发生器(3400)后端通过工作管路(3500)与柜体(100)外部连接，所述高压气动隔离阀(320)和低压气动隔离阀(330)为三通阀，所述紧急关断阀(310)、高压气动隔离阀(320)、低压气动隔离阀(330)、气动吹扫隔离阀(340)、高压气体排放阀(350)、低压气体排放阀(360)、隔离阀(3100)、真空隔离阀(3300)和真空发生器(3400)与控制显示操作单元(200)连接。

2.根据权利要求1所述的一种用于特殊气体输送的气瓶柜，其特征在于：所述工作管路(3500)包括：第一管路(3510)、第二管路(3520)、第三管路(3530)、第四管路(3540)、第五管路(3550)、第一排放管路(3560)和第二排放管路(3570)，所述第一管路(3510)与紧急关断阀(310)前端和钢瓶连接，所述第二管路(3520)与紧急关断阀(310)后端、高压气动隔离阀(320)、压力传感器(370)和过滤器(390)连接，所述第三管路(3530)与低压气动隔离阀(330)、调压阀(380)、压力传感器(370)和过滤器(390)连接，所述第四管路(3540)和第五管路(3550)与吹扫单元(400)连接，所述第一排放管路(3560)与真空隔离阀(3300)、高压气体排放阀(350)和低压气体排放阀(360)连接，所述第二排放管路(3570)与吹扫单元(400)连接。

3.根据权利要求2所述的一种用于特殊气体输送的气瓶柜，其特征在于：所述压力传感器(370)包括：第一压力传感器(371)、第二压力传感器(372)、第三压力传感器(373)、第四压力传感器(374)和第五压力传感器(375)，所述第一压力传感器(371)与第二管路(3520)连接，所述第二压力传感器(372)与第三管路(3530)连接，所述第三压力传感器(373)与第四管路(3540)连接，所述第四压力传感器(374)与第五管路(3550)连接，所述第五压力传感器(375)与第一排放管路(3560)连接。