[实用新型]一种用于特殊气体输送的气瓶柜

说明书

一种用于特殊气体输送的气瓶柜，包括：柜体、控制显示操作单元、工艺气体供应单元、吹扫单元、报警单元、条码扫描枪和本地紧急停止按钮，控制显示操作单元与柜体连接，工艺气体供应单元与柜体内部连接，吹扫单元与工艺气体供应单元连接，报警单元与柜体和控制显示操作单元连接，条码扫描枪和本地紧急停止按钮与柜体表面连接，条码扫描枪设于本地紧急停止按钮正下方。本实用新型与传统技术相比，通过在设备内加装气动阀、过流量开关来防止操作过程中开错阀门及设备故障时的安全联动；增设独立的吹扫气，由独立钢瓶供应，减少不同设备之间因为串气而对其他设备造成危害。

技术领域

本实用新型涉及气体输送设备上流体控制的技术领域，具体涉及一种用于特殊气体输送的气瓶柜。

背景技术

由于全球电子、光伏产业的蓬勃发展，及我国政府大力提倡科技兴国，国内半导体、光伏制造业发展迅猛。据2006年中国半导体产业研究报告指出：“2006年底，中国国内有近50家晶圆制造厂，112家IC封装和IC 装配厂，450家IC设计公司。2006年中国国内半导体产业产值807亿元人民币，大约为100亿美元，其中封测350亿元，晶圆制造242亿元，IC 设计215亿元。中国国内半导体市场的规模在2006年超过600亿美元。其中前20大厂家就占有300亿美元以上。”光伏产业在近两年快速发展，是未来新能源产业的主力军。

而在半导体、光伏相关产业常用的制程中需要使用带许多特殊气体，其中一些有毒、腐蚀、可燃的气体危害性相当高，一旦这些气体供应系统发生阀件适当损坏(如受腐蚀或人为操作失误等因素)造成气体泄漏，将威胁到人员生命安全、设备损失及生产中断，其危害性是让我们必须特别重视且不可小看的。其中特殊气体分配箱在半导体产业中使用非常广泛。在半导体产业发展的初期曾发生不少的事故。数据显示，特殊气体分配箱意外事故常造成事业单位财产损失、环境污染、人员伤亡、爆炸及死亡问题。而造成意外事故的主要原因为人为失误。国内半导体厂都采用各种管路及危害分析方法来达到风险的适当控制，但在人员手动控制的状态下，仍然无法降低风险性。

特殊气体输送气瓶柜主要用在半导体、光伏产业中为工艺机台连续配送工艺气体。因工艺一般为钢瓶包装，在工厂运转过程中须不断更换新的气体钢瓶，拆除在线的用空的气体钢瓶，我们称之为钢瓶更换流程。在钢瓶更换过程中为保证有毒有害气体不外漏威胁到人身安全，拆除用空的钢瓶前，须用高纯氮气置换与钢瓶相连的管线内的有毒有害气体，这在钢瓶更换流程称之为换瓶前吹。为确保有毒有害气体能置换干净，须重复开关排空阀和吹扫阀60次以上。当空钢瓶拆除换装上新的钢瓶后须对新装好的钢瓶接口做泄漏测试。对泄漏测试通过的钢瓶我们要做换瓶后吹扫，以清除换瓶过程中有可能带入气体管线的空气、水分和微小的颗粒。这个过程须连续持续3至4小时。

这在目前和以前的一些老的手动、半自动特殊气体供应柜的操作中都须人工来完成。因此带来诸多不合理因素：1、操作员机械连续重复同一个动作，误操作几率高。2、操作员在整个操作过程中因需要手动开关阀门，直接面对输送有毒有害气体设备时间长，人员安全风险大。3、手动、半自动特殊气体输送柜在有气体泄漏、火灾报警等紧急情况是无法自动关闭阀门，切断气源来减少危害。4、吹扫气采用多台柜体集中供应，可能会造成串气情况，而带来一定的危害。

为了解决上述问题，我们做出了一系列改进。

实用新型内容

本实用新型的目的在于，提供一种用于特殊气体输送的气瓶柜，以克服现有技术所存在的上述缺点和不足。

一种用于特殊气体输送的气瓶柜，包括：柜体、控制显示操作单元、工艺气体供应单元、吹扫单元、报警单元、条码扫描枪和本地紧急停止按钮，所述控制显示操作单元与柜体连接，所述工艺气体供应单元与柜体内部连接，所述吹扫单元与工艺气体供应单元连接，所述报警单元与柜体和控制显示操作单元连接，所述条码扫描枪和本地紧急停止按钮与柜体表面连接，所述条码扫描枪设于本地紧急停止按钮正下方；