[实用新型]气墙隔离装置和原子层沉积系统

权利要求书

1.一种气墙隔离装置，应用于原子层沉积系统，其特征在于，包括：

箱体，所述箱体内形成有送料通道，所述箱体开设有连通所述送料通道的进料口和出料口，所述进料口和所述出料口分别设于所述箱体的两侧；所述箱体还开设有连通所述送料通道的两第一进气口，两所述第一进气口分别设于所述箱体的顶部和底部；

两进气组件，两所述进气组件分别设于所述箱体的上方和所述箱体的下方，且所述进气组件具有出气端，所述出气端与所述第一进气口连通，用于给所述送料通道内充入气体；

加热组件，所述加热组件设于所述箱体的外表面，用于对所述箱体进行加热。

2.如权利要求1所述的气墙隔离装置，其特征在于，所述箱体包括上罩壳和下罩壳，所述上罩壳位于所述送料通道的上方，所述下罩壳位于所述送料通道的下方，所述第一进气口设于所述上罩壳，所述进气组件设于所述上罩壳的外表面。

3.如权利要求2所述的气墙隔离装置，其特征在于，所述箱体还包括第一侧板和第二侧板，所述第一侧板和所述第二侧板分别设于所述箱体的两侧，且所述上罩壳、所述下罩壳、所述第一侧板及所述第二侧板围合形成所述送料通道，所述进料口设于所述第一侧板，所述出料口设于所述第二侧板。

4.如权利要求3所述的气墙隔离装置，其特征在于，所述气墙隔离装置包括第一抽气组件，所述第一抽气组件设于所述第一侧板，并与所述进料口连通设置，用于抽离所述送料通道内的气体。

5.如权利要求4所述的气墙隔离装置，其特征在于，所述第一抽气组件包括抽气管和抽气泵，所述抽气管的一端连通于所述进料口，另一端与所述抽气泵连通。

6.如权利要求5所述的气墙隔离装置，其特征在于，所述气墙隔离装置还包括第二抽气组件，所述第二抽气组件设于第二侧板，并与所述出料口连通，所述第一抽气组件与所述第二抽气组件相对设置，用于抽离所述送料通道内的气体。

7.如权利要求6所述的气墙隔离装置，其特征在于，所述第一抽气组件设有多个，多个所述第一抽气组件沿所述第一侧板长度方向间隔设置，且均与所述第一进气口连通，所述第二抽气组件设有多个，多个所述第二抽气组件沿所述第二侧板长度方向间隔设置，且均与所述出料口连通。

8.如权利要求2所述的气墙隔离装置，其特征在于，所述进气组件包括进气管、进气泵和扩散罩，所述扩散罩凸设于所述上罩壳的外表面，并罩盖于所述第一进气口，所述进气管一端连通于所述扩散罩，另一端连通于所述进气泵。

9.如权利要求8所述的气墙隔离装置，其特征在于，所述扩散罩开设有第二进气口，所述进气管的背离所述进气泵的一端通过所述第二进气口与所述扩散罩连通；

所述进气组件还包括扩散板，所述扩散板设于所述扩散罩内，并横隔于所述第一进气口和所述第二进气口之间，所述扩散板开设有若干间隔设置的贯通孔；

气体依次经过所述第二进气口、所述贯通孔、所述第一进气口而进入所述送料通道。

10.一种原子层沉积系统，包括两原子层沉积反应装置和如权利要求1至9任一项所述的气墙隔离装置，所述气墙隔离装置设于两所述原子层沉积反应装置之间。