[实用新型]一种光学镜片的真空镀膜设备有效
申请号: | 202020696581.8 | 申请日: | 2020-04-29 |
公开(公告)号: | CN212077145U | 公开(公告)日: | 2020-12-04 |
发明(设计)人: | 沈福根;张红刚;黎明举 | 申请(专利权)人: | 深圳市锐欧光学电子有限公司 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50;C23C14/56 |
代理公司: | 深圳市中科创为专利代理有限公司 44384 | 代理人: | 彭西洋;梁炎芳 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝安区福海街道和平社区重庆*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 光学镜片 真空镀膜 设备 | ||
1.一种光学镜片的真空镀膜设备,其特征在于,包括镀膜箱体、布置于镀膜箱体一侧的用于将镀膜箱体内部抽真空的抽气机构、安装于镀膜箱体内的镀膜承载机构、覆膜发射源及限位固定机构,以及布置于镀膜箱体两端的旋转机构;所述覆膜发射源与限位固定机构分别位于镀膜承载机构的下方和上方,镀膜承载机构用于放置若干镜片,限位固定机构用于将镀膜承载机构限位固定,以便覆膜发射源对镜片的一面进行镀膜;所述旋转机构与镀膜承载机构驱动连接,旋转机构用于驱动镀膜承载机构旋转,以便覆膜发射源对镜片的另一面镀膜。
2.根据权利要求1所述的光学镜片的真空镀膜设备,其特征在于,所述镀膜承载机构包括水平内置于镀膜箱体中部的承载板、镀膜板;所述承载板的中部开设有第一通孔,镀膜板活动布置于第一通孔内;所述镀膜板的表面开设有若干用于放置镜片的镀膜孔,旋转机构活动穿过承载板与镀膜板驱动连接,旋转机构用于驱动镀膜板相对承载板做旋转运动。
3.根据权利要求2所述的光学镜片的真空镀膜设备,其特征在于,每一镀膜孔内还嵌装一限位圈,限位圈用于将镜片限位固定。
4.根据权利要求3所述的光学镜片的真空镀膜设备,其特征在于,所述旋转机构包括两旋转模组,两旋转模组分别布置于镀膜箱体的一端;每一旋转模组均包括连接组件、第一涡轮涡箱、第一电机;每一旋转模组的连接组件的一端与对应的第一涡轮涡箱驱动连接,另一端依次活动穿过镀膜箱体、承载板与镀膜板的边缘固定连接,第一电机用于经第一涡轮涡箱、连接组件驱动镀膜板旋转。
5.根据权利要求4所述的光学镜片的真空镀膜设备,其特征在于,每一连接组件均包括依次从镀膜箱体及承载板的一端活动穿过的旋转轴、与旋转轴一端固定连接的连接柱,与连接柱一端固定连接的用于夹紧镀膜板边缘的限位夹。
6.根据权利要求1所述的光学镜片的真空镀膜设备,其特征在于,所述限位固定机构包括丝杆模组、内置于镀膜箱体的限位模组,以及布置于镀膜箱体顶部的第二电机与第二涡轮涡箱;所述丝杆模组沿竖直方向活动穿过镀膜箱体的顶部布置,且其一端与第二涡轮涡箱驱动连接;所述限位模组位于镀膜板的上方并与丝杆模组驱动连接,第二电机用于经第二涡轮涡箱驱动限位模组升降,以便限位模组将镀膜板限位固定。
7.根据权利要求6所述的光学镜片的真空镀膜设备,其特征在于,所述限位模组包括第一滑动板,第一滑动板沿水平方向布置且其中部套设于丝杆模组的外侧;所述第一滑动板的底部两端分别设有一电磁铁,且每一电磁铁的底部还均设有一导磁块;所述镀膜板的顶部及底部与两导磁块对应处还均设有一铁块,电磁铁用于经导磁块与铁块吸附以将镀膜板限位固定。
8.根据权利要求1所述的光学镜片的真空镀膜设备,其特征在于,所述抽气机构包括开设于镀膜箱体一侧的抽气孔、与抽气孔连通的抽气管,以及与抽气管连通的真空泵。
9.根据权利要求8所述的光学镜片的真空镀膜设备,其特征在于,所述镀膜箱体的另一侧还设有用于将镀膜箱体密封的密封门,密封门外侧还安装有观察窗。
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