[实用新型]接头安全扭力套件结构

说明书

本实用新型涉及一种接头安全扭力套件结构，其中该接头安全扭力套件包含有：一套筒本体，设有凹陷的一内多角槽；一外多角部，具有特定厚度并一体成型于该套筒本体的一端，又该外多角部与该套筒本体构成一剪力断裂区域；一嵌入槽，系从该套筒本体及外多角部所构成中心轴向外部延伸一槽体；凭借以特定施力对该外多角部相对旋转于该套筒本体，进而让该剪力断裂区域断裂，进而提供作为流体管路接头的安全扭力检验机制。

技术领域

本实用新型涉及一种半导体设备的技术领域，尤指一种接头安全扭力套件结构。

背景技术

一些半导体设备系一起使用数个具有危险性和不具危险性的流体，并在仔细测量过后，凭借数条流体供应管路，以同步的方式将数种来自气压源的流体输送到半导体设备的处理室。因此，像这样的半导体设备通常需要一「流体输送控制盘」(英文称作GAS BOX)以控制该数种流体的精密流量及其何时ON、 OFF。

而该流体输送控制盘系在一局限箱体空间内设有该数条流体供应管路6且为密集排列，又各流体供应管路6至少有一个接头7，如图5及图6所示，由一公接头71及一母接头72，并在该母接头72设有一气密垫73；换言之，在衔接安装各管路接头7时，没有一套的施力的标准，有时以二板手74施力锁紧时不确实而未将各接头7确实锁紧，有时却施力过当，进而导致其接头7内的气密垫73(GAS KET)变形；而且，纵使想以扭力板手来衔接安装各流体供应管路6 的接头7时，也没有足够空间自由度来施展扭力板手。

因此，该流体输送控制盘内的各接头7衔接安装过程中，若没有经过控制施力磅数的一致性，该数条流体供应管路6则不会有扭力的衔接，而容易形成有泄漏流体的情况，如此除了徒增浪费材料资源外，还造成不安全的工作环境。

实用新型内容

缘此，鉴于流体输送控制盘内的各接头衔接安装过程中存在的问题点，本实用新型设计人乃穷极心思实用新型出一种接头安全扭力套件结构，故本实用新型的主要目的在于:提供半导体设备的流体输送控制盘(GAS BOX)内流体管路接头安全扭力检验机制的安全套件结构；故本实用新型的次要目的在于:提供半导体设备的流体输送控制盘(GAS BOX)内流体管路接头有效衔接。

本实用新型为达上述目的，运用如下技术手段：

关于本实用新型接头安全扭力套件结构，其中该接头安全扭力套件包含有：一套筒本体，是塑胶件并设有凹陷的一内多角槽；一外多角部，是塑胶件并具有特定厚度并一体成型于该套筒本体的一端，又该外多角部与该套筒本体构成一剪力断裂区域；一嵌入槽，系从该套筒本体及外多角部所构成中心轴向外部延伸一槽体；凭借以特定施力对该外多角部相对旋转于该套筒本体，进而产生一断裂扭力将该剪力断裂区域断裂。

所述该接头安全扭力套件结构，其中该套筒本体、外多角部都采用结晶性塑胶材质。

所述该接头安全扭力套件结构，其中该外多角部外径小于该套筒本体外径。

所述该接头安全扭力套件结构，其中该内多角槽的底部设有一凹入槽。

所述该接头安全扭力套件结构，其中该套筒本体的内多角槽设为内四角形、内五角形、内六角形或内八角形。

所述该接头安全扭力套件结构，其中该外多角部外观设为外四角形、外五角形、外六角形或外八角形。

所述该接头安全扭力套件结构，其中该扭力的数值为12.5牛米～16牛米之间。

本实用新型凭借上述技术手段，可以达成如下功效：

凭借本实用新型安全扭力套件结构，让该流体输送控制盘内的各接头衔接安装过程中，控制板手施力磅数的一致性，让该数条流体供应管路会有一致性扭力的衔接。

本实用新型提供该流体输送控制盘不会形成有泄漏流体的情况，如此除了徒增浪费材料资源外，还造成不安全的工作环境。

附图说明