[实用新型]一种多气环多逃逸通道的透明窗产生装置和在线测量系统

权利要求书

1.一种多气环多逃逸通道的透明窗产生装置，该透明窗产生装置用于在线测量系统，其特征在于，所述透明窗产生装置的一侧表面为执行面，所述执行面用于朝向待检测的工件设置，所述透明窗产生装置包括至少一组测量通道、至少一组辅助喷气通道、至少一组主环形喷气通道和至少一组环形排气通道，每组所述辅助喷气通道包括至少一个所述辅助喷气通道，每组所述主环形喷气通道包括至少一个所述主环形喷气通道，每组所述主环形排气通道包括至少一个所述环形排气通道：

每组所述测量通道都包括探测信号入口、探测信号出口和探测口，所述探测口形成在所述执行面上，且所述测量通道用于将探测信号入口入射的信号引导至所述探测口，并将从探测口入射的信号引导至所述探测信号出口；

每组所述主环形喷气通道对应一组所述测量通道，所述主环形喷气通道的出口形成在所述执行面上，所述主环形喷气通道环绕在相应的所述测量通道外部，且所述主环形喷气通道设置为使得该主环形喷气通道喷出的气体朝远离该主环形喷气通道对应的所述测量通道的方向流动；

每组所述辅助喷气通道对应一组所述测量通道，所述喷气通道的出口形成在所述执行面上，所述喷气通道用于朝相应的所述探测口的外围喷出气体，且所述喷气通道设置为使得该喷气通道喷出的气体朝远离该喷气通道对应的探测口的方向流动；

每组所述环形排气通道对应一组所述主环形喷气通道，所述环形排气通道的入口形成在所述执行面上，所述环形排气通道环绕相应的主环形喷气通道设置。

2.根据权利要求1所述的透明窗产生装置，其特征在于，每组所述主环形喷气通道包括间隔设置的多个所述主环形喷气通道。

3.根据权利要求2所述的透明窗产生装置，其特征在于，所述透明窗产生装置还包括至少一条补气通道，在同一组所述主环形喷气通道中，相邻两个所述主环形喷气通道之间设置有所述补气通道。

4.根据权利要求3所述的透明窗产生装置，其特征在于，相邻两个所述主环形喷气通道之间设置有多个所述补气通道，多个所述补气通道环绕所述主环形喷气通道的轴线均匀间隔设置。

5.根据权利要求1至4中任意一项所述的透明窗产生装置，其特征在于，所述主环形喷气通道包括互相连通的竖直环形喷气通道部和倾斜环形喷气通道部，所述倾斜环形喷气通道的一端开口与所述竖直环形喷气通道部连通，所述倾斜环形喷气通道部的另一端开口形成在所述执行面上。

6.根据权利要求5所述的透明窗产生装置，其特征在于，所述透明窗产生装置还包括第一进气通道和缓冲腔，每组所述主环形喷气通道对应一个所述缓冲腔和一个所述第一进气通道，所述缓冲腔与相应的所述主环形喷气通道的背离所述执行面的开口连通，所述第一进气通道的一端开口与相应的所述缓冲腔连通，所述第一进气通道的另一端所述透明窗产生装置的外部相通。

7.根据权利要求1至4中任意一项所述的透明窗产生装置，其特征在于，在远离所述执行面的方向上，所述环形排气通道的内径逐渐增加。

8.根据权利要求1至4中任意一项所述的透明窗产生装置，其特征在于，所述透明窗产生装置包括多个环形排气通道，该多个所述环形排气通道同轴设置，

位于内圈的至少一个所述环形排气通道的一部分的宽度小于该环形排气通道其余部分的宽度；

位于最外圈的环形排气通道的宽度大于位于内圈的环形排气通道的宽度。

9.根据权利要求1至4中任意一项所述的透明窗产生装置，其特征在于，所述透明窗产生装置包括装置本体，所述测量通道、所述辅助喷气通道、所述主环形喷气通道、和所述环形排气通道均形成在所述装置本体内，且所述测量通道的探测信号入口、所述测量通道的探测信号出口、所述主环形喷气通道的入口、所述环形排气通道的出口均位于所述装置本体的外表面上。