[实用新型]一种快速退火炉

权利要求书

1.一种快速退火炉，其特征在于，包括：机架、炉体、炉胆、保温层、加热单元、真空单元和气氛单元，所述炉体和/或所述炉胆可滑动地连接于所述机架，以调节所述炉胆位于所述炉体内的长度；所述炉胆内部形成腔体，所述腔体远离所述炉体的一端设置有开口，所述开口处设置有第一炉门，所述第一炉门设置于所述腔体内部并用以密闭所述腔体，所述第一炉门可沿所述腔体滑动；所述炉胆远离所述炉体的一端设置有第二炉门，所述第二炉门套设于所述炉胆并可相对于所述炉胆滑动；所述保温层设置于所述炉胆内部，所述保温层包覆所述腔体；所述加热单元用以加热所述腔体，所述真空单元用以控制炉内气体压力，所述气氛单元用以控制炉内气体组分。

2.根据权利要求1所述的快速退火炉，其特征在于，还包括第三炉门，第三炉门设置于所述炉胆远离所述炉体的端部，所述第三炉门用以密闭整个所述腔体。

3.根据权利要求1所述的快速退火炉，其特征在于，还包括绝热组件，所述绝热组件长度可调，所述绝热组件长度等于所述炉胆未进入所述炉体内部的长度，所述绝热组件包覆于所述炉胆。

4.根据权利要求1所述的快速退火炉，其特征在于，还包括转动机构，所述转动机构驱动所述炉胆沿自身轴线转动。

5.根据权利要求4所述的快速退火炉，其特征在于，所述转动机构为间歇性转动机构。

6.根据权利要求5所述的快速退火炉，其特征在于，所述间歇性转动机构包括凸轮盘和从动杆，所述从动杆包括固定连接为一体的十字形连接部和心轴，所述连接部抵接于凸轮盘，所述心轴连接于所述炉胆，所述心轴转动驱动所述炉胆沿自身轴线转动。