[实用新型]一种用于微量杂质置换的真空管路系统

权利要求书

1.一种用于微量杂质置换的真空管路系统，其特征在于：所述管路系统包括真空泵、弯管、真空进气主管、一个以上待抽空设备单元、抽空主阀、真空计以及排气单元；

真空泵的进气口与真空进气主管的一端连接，真空进气主管的另一端密封，真空泵的出气口与排气单元连接；每一个待抽空设备单元通过一个向上的弯管与真空进气主管连接，弯管与真空进气主管连接后向上走，高出真空进气主管5cm～10cm后向下与待抽空设备单元连接；与真空泵最接近的弯管与真空泵之间的真空进气主管上先后依次安装有抽空主阀、真空计。

2.根据权利要求1所述的一种用于微量杂质置换的真空管路系统，其特征在于：待抽空设备单元包括待抽空设备、抽空控制阀和真空进气分支管；

真空进气分支管的一端与待抽空设备连接，真空进气分支管的另一端通过弯管与真空进气主管连接。

3.根据权利要求1所述的一种用于微量杂质置换的真空管路系统，其特征在于：排气单元包括排气主管和排气头；

排气主管的一端与真空泵出气口连接，排气主管的另一端与排气头连接。

4.根据权利要求1所述的一种用于微量杂质置换的真空管路系统，其特征在于：待抽空设备单元位于真空进气主管的正下方，且与真空泵尽量接近。

5.根据权利要求1所述的一种用于微量杂质置换的真空管路系统，其特征在于：与真空泵最接近的弯管与抽空主阀之间的真空进气主管上还设置有安全阀，安全阀通过尾气管与排气单元连接，其中安全阀的整定压力为真空泵的进气设计压力。

6.根据权利要求1至5任一项所述的一种用于微量杂质置换的真空管路系统，其特征在于：抽空主阀与真空泵之间的真空进气主管上还设置有缓冲罐，此时，真空计安装在缓冲罐上。

7.根据权利要求1所述的一种用于微量杂质置换的真空管路系统，其特征在于：抽空控制阀的内表面以及真空进气分支管的内表面均为电抛光级。

8.根据权利要求1所述的一种用于微量杂质置换的真空管路系统，其特征在于：真空泵选用无油真空泵。

9.根据权利要求1所述的一种用于微量杂质置换的真空管路系统，其特征在于：气体的微量杂质含量要求为ppb级时，在所述管路系统中串联两个以上真空泵。