[实用新型]一种高纯铝平面靶材磨削加工装置

权利要求书

1.一种高纯铝平面靶材磨削加工装置，包括工作台(1)，所述工作台(1)上设置有电磁吸盘(2)和磨削组件(3)，所述磨削组件(3)位于所述电磁吸盘(2)的一侧，其特征在于：所述电磁吸盘(2)上设置有用于与所述电磁吸盘(2)吸附配合的两个U形夹具(4)，所述U形夹具(4)包括侧板(41)和平行设置在所述侧板(41)上的两个夹臂(42)，所述侧板(41)上设置有第一缓冲垫(43)，所述侧板(41)通过所述第一缓冲垫(43)与高纯铝平面靶材相抵接，所述夹臂(42)上设置有第二缓冲垫(44)，所述夹臂(42)通过所述第二缓冲垫(44)与高纯铝平面靶材相抵接。

2.根据权利要求1所述的一种高纯铝平面靶材磨削加工装置，其特征在于：所述第一缓冲垫(43)、所述第二缓冲垫(44)为铝板，所述铝板的铝含量大于等于99.8%。

3.根据权利要求1所述的一种高纯铝平面靶材磨削加工装置，其特征在于：所述侧板(41)包括第一连接板(411)、第二连接板(412)和丝杆(413)，所述第一连接板(411)上开设有第一螺孔(414)，所述第二连接板(412)上开设有第二螺孔(415)，所述丝杆(413)的一端依次穿过所述第二螺孔(415) 和所述第一螺孔(414)，所述丝杆(413)的另一端连接有手柄(416)，所述第一缓冲垫(43)、一个所述夹臂(42)分别设置在所述第一连接板(411)上，另一个所述夹臂(42)固定设置在所述第二连接板(412)上。

4.根据权利要求3所述的一种高纯铝平面靶材磨削加工装置，其特征在于：所述第一缓冲垫(43)和所述第一连接板(411)之间设置有第一压力传感器(45)，所述第二缓冲垫(44)和所述夹臂(42)之间设置有第二压力传感器(46)。

5.根据权利要求3所述的一种高纯铝平面靶材磨削加工装置，其特征在于：所述第一连接板(411)和所述第二连接板(412)的长度比为5:1。

6.根据权利要求1所述的一种高纯铝平面靶材磨削加工装置，其特征在于：所述第一缓冲垫(43)的上端面上固定设置有第一挂钩(431)，所述侧板(41)的上端面上设置有与所述第一挂钩(431)配合的第一卡槽(417)，所述第一缓冲垫(43)通过所述第一挂钩(431)挂在所述侧板(41)上；所述第二缓冲垫(44)的上端面上固定设置有第二挂钩(441)，所述夹臂(42)的上端面上设置有与所述第二挂钩(441)配合的第二卡槽(421)，所述第二缓冲垫(44)通过所述第二挂钩(441)挂在所述夹臂(42)上。

7.根据权利要求1所述的一种高纯铝平面靶材磨削加工装置，其特征在于：一个U形夹具(4)的下端面上设置有定位块(47)，所述电磁吸盘(2)的上端面上设置有与所述定位块(47)卡接配合的定位槽(21)。

8.根据权利要求1所述的一种高纯铝平面靶材磨削加工装置，其特征在于：所述磨削组件(3)包括X轴直线模组(31)、Y轴直线模组(32)、Z轴直线模组(33)、砂轮箱(34)、驱动电机和砂轮(35)，所述X轴直线模组(31)设置在所述工作台(1)上，所述Z轴直线模组(33)设置在所述X轴直线模组(31)上，所述Y轴直线模组(32)设置在所述Z轴直线模组(33)上，所述砂轮箱(34)设置在所述Y轴直线模组(32)的下端，所述驱动电机设置在所述砂轮箱(34)内，所述驱动电机的驱动轴与所述砂轮(35)连接，所述砂轮(35)的下端伸出所述砂轮箱(34)。