[实用新型]一种气源系统

权利要求书

1.一种气源系统，其特征在于，包括气路集成块和气体传送装置，所述气路集成块内设有气体通道，所述气体通道上设有出气口、排气口、第一进气口以及至少一个第二进气口，所述出气口与出气管道的输入端连接，所述排气口通过排气管道与所述气体传送装置的输入端连接，所述气体传送装置的输出端用于排出所述气体通道内的气体，所述第一进气口与第一进气管道的输出端连接，每一所述第二进气口均与对应的第二进气管道的输出端连接；

所述气源系统还包括出气开关阀、排气开关阀、第一进气开关阀和第二进气开关阀，所述出气开关阀设于所述出气管道的输入端，所述排气开关阀设于所述排气管道的输入端，所述第一进气开关阀设于所述第一进气管道的输出端，所述第二进气开关阀设于对应的所述第二进气管道的输出端；其中，所述第二进气开关阀与所述第二进气口为一一对应的关系；所述第一进气口用于输入氮气，所述第二进气口用于输入目标气体。

2.如权利要求1所述的气源系统，其特征在于，所述气源系统还包括压力计，所述压力计设于所述出气口和所述出气开关阀之间的管道上。

3.如权利要求1所述的气源系统，其特征在于，所述气源系统还包括第一单向阀，所述第一单向阀的输入端与所述排气管道的输入端连接，所述第一单向阀的输出端与所述排气管道的输出端连接。

4.如权利要求1所述的气源系统，其特征在于，所述气源系统还包括第二单向阀，所述第二单向阀的输入端与所述第一进气管道的输入端连接，所述第二单向阀的输出端与所述第一进气管道的输出端连接；

所述气源系统还包括第三单向阀，所述第三单向阀的输入端与所述第二进气管道的输入端连接，所述第三单向阀的输出端与所述第二进气管道的输出端连接。

5.如权利要求1所述的气源系统，其特征在于，所述气源系统还包括氮气瓶，所述氮气瓶的输出端与所述第一进气管道的输入端连接；

所述气源系统还包括第一气瓶，所述第一气瓶的输出端与对应的所述第二进气管道的输入端连接；其中，所述第一气瓶与所述第二进气口为一一对应的关系。

6.如权利要求5所述的气源系统，其特征在于，所述气源系统还包括第一调压阀，所述第一调压阀设于所述氮气瓶的输出端；

所述气源系统还包括第二调压阀，所述第二调压阀设于所述第一气瓶的输出端。

7.如权利要求1-6任一项所述的气源系统，其特征在于，所述气源系统还包括第三调压阀，所述第三调压阀设于所述出气管道的输出端。

8.如权利要求1-6任一项所述的气源系统，其特征在于，所述气体传送装置为气泵。

9.如权利要求1-6任一项所述的气源系统，其特征在于，所述出气开关阀、所述排气开关阀、所述第一进气开关阀和所述第二进气开关阀均为电磁阀。