[实用新型]跳片取放装置有效
申请号: | 202021386865.3 | 申请日: | 2020-07-14 |
公开(公告)号: | CN212182296U | 公开(公告)日: | 2020-12-18 |
发明(设计)人: | 胡新荣 | 申请(专利权)人: | 深圳新益昌科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683;H01L21/687 |
代理公司: | 深圳中一联合知识产权代理有限公司 44414 | 代理人: | 徐汉华 |
地址: | 518000 广东省深圳*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 跳片取放 装置 | ||
1.跳片取放装置(10),其特征在于:包括用于一次性吸附纵向排列的至少一列跳片的吸爪(12)、驱动所述吸爪(12)升降的升降臂(13)、支撑所述升降臂(13)的支撑座(16)、驱动所述支撑座(16)横向移动的直线驱动机构(17)和支撑所述直线驱动机构(17)的机座(11),所述吸爪(12)安装于所述升降臂(13)上,所述升降臂(13)安装于所述支撑座(16)上,所述支撑座(16)安装于所述直线驱动机构(17)上,所述直线驱动机构(17)安装于所述机座(11)上。
2.如权利要求1所述的跳片取放装置(10),其特征在于:所述吸爪(12)包括用于吸附所述跳片的多个吸嘴(121),多个所述吸嘴(121)沿纵向排布成至少一列,所述吸爪(12)还包括沿向纵向平行排布的多个支杆(122),所述支杆(122)的数量与一列所述吸嘴(121)的数量相等,任意列中的多个所述吸嘴(121)分别安装于多个所述支杆(122)上;多个所述支杆(122)分成至少两组,所述吸爪(12)还包括分别连接各组所述支杆(122)的至少两个支座(123);所述跳片取放装置(10)分别驱动各所述支座(123)升降的至少两个所述升降臂(13)。
3.如权利要求2所述的跳片取放装置(10),其特征在于:任意两组所述支杆(122)中:各组中任意相邻两个所述支杆(122)之间距离与另一组中任意相邻两个所述支杆(122)之间距离相等。
4.如权利要求3所述的跳片取放装置(10),其特征在于:多个所述支杆(122)分成N组,N≥2,且N为正整数,各组所述支杆(122)中:任意相邻两个所述支杆(122)之间距离与另一组中任意相邻两个所述支杆(122)之间具有N-1个所述支杆(122)。
5.如权利要求2-4任一项所述的跳片取放装置(10),其特征在于:所述升降臂(13)成对设置,每对所述升降臂(13)包括第一升降臂(14)和第二升降臂(15),所述第一升降臂(14)安装于所述支撑座(16)上,所述第二升降臂(15)安装于所述第一升降臂(14)上。
6.如权利要求5所述的跳片取放装置(10),其特征在于:所述第一升降臂(14)包括安装于所述支撑座(16)上的第一安装座(141)、用于支撑所述支座(123)的第二安装座(142)和驱动所述第二安装座(142)升降的第一升降驱动器(143),所述第二安装座(142)滑动安装于所述第一安装座(141)上,所述第一升降驱动器(143)支撑于所述第一安装座(141)上;所述第二升降臂(15)安装于所述第二安装座(142)上。
7.如权利要求6所述的跳片取放装置(10),其特征在于:所述第一升降臂(14)还包括弹性拉动所述第二安装座(142)的第一弹性件(144),所述第一弹性件(144)的下端与所述第二安装座(142)相连,所述第一弹性件(144)的上端与所述第一安装座(141)相连。
8.如权利要求6所述的跳片取放装置(10),其特征在于:所述第一升降臂(14)还包括连接所述第一安装座(141)与所述第二安装座(142)的第一交叉导轨(145),所述第一交叉导轨(145)竖直设置。
9.如权利要求6所述的跳片取放装置(10),其特征在于:所述第二升降臂(15)包括用于支撑所述支座(123)的第三安装座(151)和驱动所述第三安装座(151)升降的第二升降驱动器(152),所述第三安装座(151)滑动安装于所述第二安装座(142)上,所述第二升降驱动器(152)支撑于所述第二安装座(142)上。
10.如权利要求9所述的跳片取放装置(10),其特征在于:所述第二升降臂(15)还包括弹性拉动所述第三安装座(151)的第二弹性件(153),所述第二弹性件(153)的下端与所述第三安装座(151)相连,所述第二弹性件(153)的上端与所述第二安装座(142)相连。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造