[实用新型]玻璃溅镀机用冷却系统

说明书

一种玻璃溅镀机用冷却系统，包括溅镀机、降温箱、过滤器、转运泵、制冷机和储液箱；所述溅镀机的出液口与降温箱的进料口连接，所述降温箱的出料口与过滤器的进料口连接，所述过滤器的出料口与制冷机的进料口连接，所述转运泵位于过滤器与制冷机的连接管线上，所述制冷机的出料口与储液箱的进料口连接，所述储液箱与溅镀机的进液口连接；所述降温箱的壁上连接有散热装置。本实用新型可有效降低制冷机的工作压力，保证循环冷却液的纯净度。

技术领域

本实用新型涉及镀膜工艺领域，尤其是涉及一种玻璃溅镀机用冷却系统。

背景技术

在镀膜工艺尤其是玻璃镀膜工艺中，常采用阴极真空磁控溅射法进行镀膜。溅镀是指在真空室中，利用荷能粒子轰击镀料表面，使被轰击出的粒子在基片上沉积的技术。在溅射镀膜过程中，根据实现镀膜需求，基片可能会通过多次溅射工序才能完成镀膜。在溅射镀膜机中经过两次或多次溅射工序后的基片工件的温度会比较高，很容易发生氧化，有的基片甚至因为温度过高而发生颜色改变，严重影响最终溅射镀膜产品的质量。为此需要在镀膜工艺进程中采用冷却系统，以及时排除设备的产热并维持一个较佳的水质和水温，从而避免产品的失效率和降低设备的使用寿命。

镀膜的冷却系统通常采用有制冷功能的制冷机来冷却溅镀设备。冷却设备具有制冷功能，可以对水进行强制降温处理，可以保证使用的水处于某一设定的温度, 但是外设制冷装置，制冷设备复杂，同时专用的制冷机由于要使用大量的氟利昂作为冷却剂，会对环境造成污染。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种玻璃溅镀机用冷却系统，该系统可有效降低制冷机的工作压力，保证循环冷却液的纯净度。

为解决上述技术问题，本实用新型所采用的技术方案是：包括溅镀机、降温箱、过滤器、转运泵、制冷机和储液箱；

所述溅镀机的出液口与降温箱的进料口连接，所述降温箱的出料口与过滤器的进料口连接，所述过滤器的出料口与制冷机的进料口连接，所述转运泵位于过滤器与制冷机的连接管线上，所述制冷机的出料口与储液箱的进料口连接，所述储液箱与溅镀机的进液口连接；所述降温箱的壁上连接有散热装置。

优选的，所述散热装置由散热鳍片和风扇组成，散热鳍片与降温箱的外壁连接。

优选的，所述降温箱的壁由导热材料制成，降温箱内设有搅拌装置。导热材料制成的降温箱壁能很快的将热量导出到散热鳍片上，有助于散热降温。降温箱内的搅拌装置有助于均匀热水的热量，有助于散热降温。

优选的，所述储液箱的壁设有隔热层；所述制冷机与储液箱的连接管线的管壁设有隔热层；所述储液箱与溅镀机的连接管线的管壁设有隔热层。储液箱的壁和管线的管壁设有隔热层，有助于保持冷缺水的低温，有助于冷却系统的冷却效果。

优选的，所述转运泵与制冷机的连接管线上设有进液管及阀门；所述过滤器与转运泵的连接管线上设有出液管及阀门。设置进液管和出液管便于添加和更换循环水。

本实用新型的有益效果为：1. 本装置在溅镀室和制冷机之间设置了降温箱，先对热水降温处理，再通过制冷机对热水进行强制降温处理，可有效降低制冷机的工作压力；2.本装置在降温箱和转运泵之间设置了过滤器，可以有效去除冷却液在循环制过程中带来的杂质，防止杂质堵塞转运泵，延长转运泵的使用寿命，有助于维持整个冷却系统的正常运转；3. 本装置设置了进液管和出液管，便于添加和更换循环水。

附图说明

图1是玻璃溅镀机用冷却系统简图；

图中：溅镀机1、降温箱2、过滤器3、转运泵4、制冷机5、储液箱6、散热鳍片7、风扇8、搅拌装置9、进液管10、出液管11。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步说明：

如图1所示，一种玻璃溅镀机用冷却系统，包括溅镀机1、降温箱2、过滤器3、转运泵4、制冷机5和储液箱6；