[实用新型]一种用于多晶硅的清洗装置有效
申请号: | 202021541200.5 | 申请日: | 2020-07-29 |
公开(公告)号: | CN213255985U | 公开(公告)日: | 2021-05-25 |
发明(设计)人: | 万文 | 申请(专利权)人: | 安徽环巢光电科技有限公司 |
主分类号: | B08B3/10 | 分类号: | B08B3/10;B08B13/00;F26B21/00 |
代理公司: | 成都蓉创智汇知识产权代理有限公司 51276 | 代理人: | 谭新民 |
地址: | 230000 安徽省*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 多晶 清洗 装置 | ||
1.一种用于多晶硅的清洗装置,包括支撑腿(1),其特征在于:所述支撑腿(1)的顶部固定安装有清洗箱(2),所述清洗箱(2)顶部的两侧均固定安装有支撑板(3),所述支撑板(3)的顶部固定连接有顶部防护箱(4),所述顶部防护箱(4)的顶部固定安装有干燥箱(16),所述干燥箱(16)内腔的底部固定安装有风机(20),所述支撑板(3)中部开设有限位滑动槽(15),所述清洗箱(2)的两侧均固定安装有电动伸缩柱(12),所述电动伸缩柱(12)的顶部固定安装有安装板(19),所述安装板(19)的中部活动套接有转动轴(13),所述转动轴(13)贯穿限位滑动槽(15)的内腔,所述转动轴(13)的中部固定安装有位于清洗箱(2)内腔的套筒(5),所述套筒(5)表面的两端固定安装有侧置隔离板(14),所述侧置隔离板(14)的内侧固定连接有隔板(6),所述隔板(6)的一端铰接有盖板(7),所述转动轴(13)的一端固定连接有步进电机(22),且步进电机(22)与安装板(19)固定连接。
2.根据权利要求1所述的一种用于多晶硅的清洗装置,其特征在于:所述清洗箱(2)两侧的中部固定连接有钢化玻璃(18),所述清洗箱(2)的底部固定连接有净化箱(8),所述清洗箱(2)内腔的底部固定连接有排水管(10),所述排水管(10)的一端延伸至净化箱(8)的内腔。
3.根据权利要求2所述的一种用于多晶硅的清洗装置,其特征在于:所述净化箱(8)的内腔固定连接有灰尘过滤网(11),所述净化箱(8)的一侧铰接有封闭盖(9)。
4.根据权利要求1所述的一种用于多晶硅的清洗装置,其特征在于:所述盖板(7)上表面的一侧固定连接有连接板(24),所述连接板(24)的表面与隔板(6)一端的表面相接触,所述连接板(24)的表面螺纹套接有蝶形螺栓(23),且蝶形螺栓(23)的一端螺纹套接至隔板(6)的内部。
5.根据权利要求1所述的一种用于多晶硅的清洗装置,其特征在于:所述干燥箱(16)一端的一侧铰接有箱门(21),所述干燥箱(16)内腔的顶部固定连接有空气过滤网(17)。
6.根据权利要求1所述的一种用于多晶硅的清洗装置,其特征在于:所述隔板(6)、盖板(7)、侧置隔离板(14)均为网格状结构。
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