[实用新型]一种探针卡测试装置

说明书

本实用新型涉及半导体测试装置技术领域，具体涉及一种探针卡测试装置，包括检测仓，还包括探针卡单元、芯片单元和检测单元，所述检测单元与所述探针卡单元连接，所述探针卡单元设有调节定位机构和探针卡夹具，所述芯片单元设有承载台、开设于所述承载台顶端的芯片容置槽和伸缩支撑件，所述芯片容置槽内设有一组相对应的限位结构，所述限位结构包括有复位弹簧、夹持块和凸块，所述伸缩支撑件分别与所述承载台底端和所述检测仓内壁底部连接，本实用新型结构简单，设计合理，探针卡夹具和待测芯片的相对位置可调，使用方便，同时，限位结构可以限定待测芯片的位置，防止待测芯片在容置槽内的移位，保证测试的可靠性。

技术领域

本实用新型涉及半导体测试装置技术领域，特别是涉及一种探针卡测试装置。

背景技术

探针卡是一种测试接口，主要对裸芯进行测试，通过连接测试机和芯片，通过传输信号，对芯片参数进行测试。在芯片测试中，通常会用到具有多根探针的探针卡，芯片上设置有测试焊垫，将探针卡的探针与芯片的焊垫相互接触，形成电连接以进行电性测试，因此需要保证探针与芯片焊垫接触良好。

现有技术中，探针卡和芯片的相对位置不可调整，无法调节其与被检测芯片之间的距离，使用不方便，同时，对待测芯片无法进行有效的固定，待测芯片容易产生偏移，导致接触效果不佳，测试可靠性差。

鉴于上述技术问题，有必要提供一款新的探针卡测试装置，以更好地解决上述技术问题。

实用新型内容

为解决上述问题，本实用新型提供一种探针卡测试装置，其结构简单，设计合理，位置调节方便，测试可靠性好，使用方便。

本实用新型采用的技术方案是：

一种探针卡测试装置，包括检测仓，还包括探针卡单元、芯片单元和检测单元，所述检测单元与所述探针卡单元连接，所述探针卡单元设有调节定位机构和探针卡夹具，所述调节定位机构分别与所述检测仓内壁顶端和所述探针卡夹具连接，所述芯片单元设有承载台、开设于所述承载台顶端的芯片容置槽和伸缩支撑件，所述芯片容置槽内设有一组相对应的限位结构，所述限位结构包括有复位弹簧、夹持块和凸块，所述复位弹簧分别与所述芯片容置槽内壁和所述夹持块连接，所述凸块设于所述夹持块顶端，所述伸缩支撑件分别与所述承载台底端和所述检测仓内壁底部连接。

对上述技术方案的进一步改进为，所述调节定位机构设为齿轮定位机构。

对上述技术方案的进一步改进为，所述齿轮定位机构设有定位支架和定位块，所述定位支架设置于所述检测仓内壁顶端，所述定位块分别与所述定位支架和所述探针卡夹具连接，所述定位支架设有齿条导轨，所述定位块设有与所述齿条导轨相配合的齿轮和连通所述齿轮的连接轴，所述定位块侧面安装有定位螺钉。

对上述技术方案的进一步改进为，所述检测仓内壁安装有滑轨，所述承载台设有与所述滑轨相匹配的滑块，所述滑块滑动安装于所述滑轨内。

对上述技术方案的进一步改进为，所述探针卡夹具底端连接有探针卡，所述探针卡连接有探针。

对上述技术方案的进一步改进为，所述伸缩支撑件设为气动伸缩杆。

对上述技术方案的进一步改进为，所述夹持块呈“工”字型。

本实用新型的有益效果如下：