[实用新型]一种用于硅晶体生长的连续加料装置有效
| 申请号： | 202022207311.9 | 申请日： | 2020-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN213357812U | 公开（公告）日： | 2021-06-04 |
| 发明（设计）人： | 张新峰 | 申请（专利权）人： | 如皋卓远中乌第三代半导体产业技术研究院(有限合伙) |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京汇信合知识产权代理有限公司 11335 | 代理人： | 孙腾 |
| 地址： | 226500 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 晶体生长 连续 加料 装置 | ||
1.一种用于硅晶体生长的连续加料装置，包括支撑架（3）、出料口（4）、输送箱体（5）和进料口（7），其特征在于：所述输送箱体（5）底端的两侧均固定有支撑架（3），所述输送箱体（5）底端一侧的中间位置处设置有出料口（4），所述输送箱体（5）的内部设置有加料结构（6），所述输送箱体（5）顶端的一侧安装有进料口（7），所述进料口（7）的顶端设置有防堵结构（1），所述输送箱体（5）顶端的另一侧设置有称重结构（2），所述称重结构（2）包括与显示器（201）、称重传送带（202）、皮带（203）和第一伺服电机（204），所述称重传送带（202）安装在输送箱体（5）顶端的一侧，所述称重传送带（202）一端的一侧连接有皮带（203），所述皮带（203）的一侧安装有第一伺服电机（204），所述称重传送带（202）的一端安装有显示器（201）。
2.根据权利要求1所述的一种用于硅晶体生长的连续加料装置，其特征在于：所述防堵结构（1）包括有转动轴（101）、防堵板（102）和防堵箱（103），所述防堵箱（103）安装在进料口（7）的顶端，所述防堵箱（103）内部的中间位置处安装有转动轴（101），所述转动轴（101）的外表面上固定有防堵板（102）。
3.根据权利要求2所述的一种用于硅晶体生长的连续加料装置，其特征在于：所述防堵板（102）可在转动轴（101）上进行转动，所述防堵板（102）在转动轴（101）上呈等间距排列。
4.根据权利要求1所述的一种用于硅晶体生长的连续加料装置，其特征在于：所述第一伺服电机（204）固定在输送箱体（5）的顶端，所述称重传送带（202）的一侧与防堵箱（103）相连接。
5.根据权利要求1所述的一种用于硅晶体生长的连续加料装置，其特征在于：所述加料结构（6）包括有第二伺服电机（601）、转轴（602）和螺旋杆（603），所述转轴（602）安装在支撑架（3）的内部，所述称重传送带（202）的外表面上固定有螺旋杆（603），所述转轴（602）的一侧连接有第二伺服电机（601）。
6.根据权利要求5所述的一种用于硅晶体生长的连续加料装置，其特征在于：所述第二伺服电机（601）安装在输送箱体（5）的一侧，所述螺旋杆（603）为“蛇”形缠绕设计。
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