[实用新型]一种大尺寸硅单晶分段加热装置有效
申请号: | 202022207313.8 | 申请日: | 2020-09-30 |
公开(公告)号: | CN213357807U | 公开(公告)日: | 2021-06-04 |
发明(设计)人: | 张新峰 | 申请(专利权)人: | 如皋卓远中乌第三代半导体产业技术研究院(有限合伙) |
主分类号: | C30B15/14 | 分类号: | C30B15/14;C30B29/06;C30B15/30 |
代理公司: | 北京汇信合知识产权代理有限公司 11335 | 代理人: | 孙腾 |
地址: | 226500 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 尺寸 硅单晶 分段 加热 装置 | ||
本实用新型公开了一种大尺寸硅单晶分段加热装置,包括电机、外箱和滚筒,所述电机的一侧固定安装有外箱,所述第一加热管的一侧固定安装有第二加热管,所述第二加热管的一侧固定安装有第三加热管,所述外箱的表面固定安装有控制器,所述外箱的顶部固定安装有进料口,所述外箱的一侧固定安装有出料口,所述外箱的内部通过连接杆固定安装有轴承,所述转动轴的外围通过固定支架固定安装有滚筒。本实用新型通过设置有一系列的结构使本装置在使用的过程中能够先利用进料口将物料置入到滚筒内,之后再通过启动电机,使滚筒进行转动,最后利用控制器分别对第一加热管、第二加热管和第三加热管进行不同的温度控制。
技术领域
本实用新型涉及硅单晶技术领域,具体为一种大尺寸硅单晶分段加热装置。
背景技术
硅单晶,即硅的单晶体,是一种比较活泼的非金属元素,具有基本完整的点阵结构的晶体,不同的方向具有不同的性质,是一种良好的半导材料,是晶体材料的重要组成部分,处于新材料发展的前沿,其主要用途是用作半导体材料和利用太阳能光伏发电、供热等,用高纯度的多晶硅在单晶炉内拉制而成,而硅单晶对于加热过程中的要求较高,因此需要一种大尺寸硅单晶分段加热装置。
现有的硅单晶加热装置存在的缺陷是:
1、硅单晶加热装置通常都是整体化加热,从而不能进行分段式加热。
2、硅单晶加热装置在加热过程中容易导致受热不均匀,为此我们提出一种大尺寸硅单晶分段加热装置来解决现有的问题。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种大尺寸硅单晶分段加热装置,以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种大尺寸硅单晶分段加热装置,包括电机、外箱和滚筒,所述电机的一侧固定安装有外箱,所述外箱的内部固定安装有第一加热管,所述第一加热管的一侧固定安装有第二加热管,所述第二加热管的一侧固定安装有第三加热管,所述外箱的表面固定安装有控制器,所述外箱的顶部固定安装有进料口,所述外箱的一侧固定安装有出料口,所述外箱的内部通过连接杆固定安装有轴承,所述电机与轴承之间活动安装有转动轴,所述转动轴的外围通过固定支架固定安装有滚筒。
优选的,所述控制器与外箱之间固定安装有隔热板,且隔热板与外箱之间固定安装有连接螺栓。
优选的,所述外箱底部的两侧固定安装有支撑座,且支撑座的两端固定安装有支撑杆。
优选的,所述电机的底部固定安装有支撑架,支撑架与外箱之间固定安装有连接板,且连接板的两端固定安装有固定销。
优选的,所述进料口的顶部通过铰链轴活动安装有顶盖,且顶盖的表面设置有防滑纹。
优选的,所述连接杆顶部和底部与外箱之间固定安装有支撑板,且支撑板的两侧固定安装有固定螺栓。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
1、本实用新型通过在外箱的表面固定安装有控制器,通过控制器利用导线分别对电机、第一加热管、第二加热管和第三加热管电性连接,之后通过编程人员对控制器进行编程,分别对控制器、第一加热管、第二加热管和第三加热管进行控制,第一加热管的一侧固定安装有第二加热管,第二加热管的一侧固定安装有第三加热管,其中每个加热管通过控制器都设置有不同的温度,使硅单晶进行分隔加热,从而提高硅单晶的生产质量。
2、本实用新型通过在电机与轴承之间活动安装有转动轴,通过连接杆将轴承连接,使转动轴可以在轴承内转动,转动轴的外围通过固定支架固定安装有滚筒,固定支架具有将转动轴支撑在滚筒内部的作用,提高转动轴的稳定性,通过电机带动转动轴转动,并带动滚筒进行转动,从而使滚筒内的硅单晶受热均匀,提高产品的生产质量。
附图说明
图1为本实用新型的内视图。
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