[实用新型]一种OLED金属掩膜板清洗装置

说明书

本实用新型提供一种OLED金属掩膜板清洗装置。所述OLED金属掩膜板清洗装置包括过滤腔，所述过滤腔开设在所述箱体上并位于所述清洗腔的下方，所述过滤腔和所述清洗腔相连通；缓冲腔，所述缓冲腔开设在所述箱体上并位于所述过滤腔的右侧；水泵，所述水泵固定安装在所述箱体的右侧；吸水管，所述吸水管固定安装在所述水泵的进水端上，所述吸水管的进水端和所述箱体的右侧固定连接并和所述缓冲腔相连通；出水管，所述出水管固定安装在所述水泵的排水端上。本实用新型提供的OLED金属掩膜板清洗装置具有能够同时对多块掩膜板清洗、固定较为方便、且能够对冲洗掉的金属颗粒进行收集、便于清理的优点。

技术领域

本实用新型涉及掩膜板清洗技术领域，尤其涉及一种OLED金属掩膜板清洗装置。

背景技术

OLED(有机发光二极管)是一种具有自发光特性的显示技术，被广泛使用的LCD(液晶显示器)显示技术相比，具有可视角大，色彩艳丽，功耗低等优点，因此其会逐渐替代目前主流的液晶显示技术。OLED显示屏制作过程中，有一道有机发光体蒸镀工艺，需要用到高精度的OLEDMetalMask(有机发光二极管高精度金属掩膜板)作为蒸镀模板，OLEDMetalMask的质量对显示屏的质量、成品率有极大影响，在OLED显示屏行业，OLEDMetalMask是制约OLED屏发展的关键因素。在液晶显示面板制程中，曝光是一个关键制程，掩膜板(Mask)是曝光的一个基本工具。掩膜板在使用过程中常常会产生脏污导致品质不良，特别是在接近式曝光过程中，掩膜板脏污会导致曝光出现共同性缺陷，对产品良率影响很大，且在掩膜板的生产中常常需要对基板进行打磨，一些金属碎屑难以清理，因此掩膜板的清洗是一个必不可少的作业。

然而目前的清洗装置在清洗时不但不方便对掩膜板进行固定，同时通常只能对单一的掩膜板冲洗，清洗效率较低，且掩膜板上冲洗下来的金属颗粒不易被集中收集，清理较为困难。

因此，有必要提供一种新的OLED金属掩膜板清洗装置解决上述技术问题。

实用新型内容

本实用新型解决的技术问题是提供一种具有能够同时对多块掩膜板清洗、固定较为方便、且能够对冲洗掉的金属颗粒进行收集、便于清理的OLED金属掩膜板清洗装置。

为达到上述目的，本实用新型的技术方案具体是这样实现的：

本实用新型的提供了一种OLED金属掩膜板清洗装置，包括：箱体；清洗腔，所述清洗腔开设在所述箱体上；过滤腔，所述过滤腔开设在所述箱体上并位于所述清洗腔的下方，所述过滤腔和所述清洗腔相连通；缓冲腔，所述缓冲腔开设在所述箱体上并位于所述过滤腔的右侧；水泵，所述水泵固定安装在所述箱体的右侧；吸水管，所述吸水管固定安装在所述水泵的进水端上，所述吸水管的进水端和所述箱体的右侧固定连接并和所述缓冲腔相连通；出水管，所述出水管固定安装在所述水泵的排水端上；多个清洗管，多个所述清洗管分别均匀固定安装在所述清洗腔的两侧内壁上，多个所述清洗管的右端均延伸至所述箱体外并和所述出水管固定连接；多个支座，多个所述支座分别均匀固定安装在所述清洗腔的两侧内壁上，多个所述支座分别位于多个所述清洗管的下方；多个固定机构，多个所述固定机构分别设置在多个所述支座上；金属收集机构，所述金属收集机构设置在所述箱体上并和所述过滤腔对应分布；