[实用新型]一种半导体级单晶生长设备的可分离式热屏提升机构有效
| 申请号： | 202022467092.8 | 申请日： | 2020-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN213804062U | 公开（公告）日： | 2021-07-27 |
| 发明（设计）人： | 刘丁;弋英民;张晶;张新雨;黄伟超 | 申请（专利权）人： | 西安理工大学 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人： | 韩玙 |
| 地址： | 710048 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 级单晶 生长 设备 可分离 式热屏 提升 机构 | ||
1.一种半导体级单晶生长设备的可分离式热屏提升机构，其特征在于，包括热屏(1)，热屏(1)上活动设置有炉盖(2)，热屏(1)与炉盖(2)之间设置有热屏提升机构，所述热屏提升机构具体结构为：包括一对平行竖直设置的提升杆(5)，提升杆(5)的下端安装有扇形的旋片挂钩(4)，提升杆(5)的上端连接有旋转拧手(9)，提升杆(5)的上下运动是通过提升电机(11)带动丝杠(10)的旋转，从而驱动与提升杆(5)上部连接的热屏运动支座(8)实现提升和下降的动作，热屏运动支座(8)通过下方安装的波纹管(7)与热屏连接底座法兰(6)连接为一个整体，整个热屏提升机构就是通过热屏连接底座法兰(6)安装固定在炉盖(2)的对应窗口位置。
2.根据权利要求1所述的一种半导体级单晶生长设备的可分离式热屏提升机构，其特征在于，每个所述提升杆(5)的下方旋片挂钩(4)与热屏(1)上部的U型纯钼挂耳(3)通过旋转拧手(9)进行手动旋转即可实现提升杆(5)与热屏(1)的连接与分离。
3.根据权利要求2所述的一种半导体级单晶生长设备的可分离式热屏提升机构，其特征在于，所述U型纯钼挂耳(3)上开设有U型开槽，U型开槽与所述旋片挂钩(4)相匹配，保证旋片挂钩(4)旋转定位后不会与U型纯钼挂耳(3)意外脱离。
4.根据权利要求2所述的一种半导体级单晶生长设备的可分离式热屏提升机构，其特征在于，所述提升杆(5)和热屏运动支座(8)采用双O型圈进行密封，热屏运动支座(8)与波纹管(7)、波纹管(7)与热屏连接底座法兰(6)、以及热屏连接底座法兰(6)与炉盖(2)对应窗口之间均采用O型圈进行密封。
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