[实用新型]一种便于光刻掩膜版图形检测的菲林片

权利要求书

1.一种便于光刻掩膜版图形检测的菲林片，包括装置本体（1），其特征在于：所述装置本体（1）的底部活动安装有吸盘（2），所述吸盘（2）的顶部固定连接有密封套口（3），所述密封套口（3）的顶部固定连接有伸缩杆（17）,所述伸缩杆（17）外壁的表面活动套接有第一弹簧（4），所述装置本体（1）的内部固定安装有第一套板（6），所述伸缩杆（17）的顶部固定安装有第一限位板（5）。

2.根据权利要求1所述的一种便于光刻掩膜版图形检测的菲林片，其特征在于：所述伸缩杆（17）的内部活动套接有升降杆（8），所述升降杆（8）外壁的表面固定安装有第二限位板（10），所述第二限位板（10）的底部贴合连接有第二弹簧（9），所述第二弹簧（9）的底部贴合连接有第二套板（7）,所述装置本体（1）的内部活动套接有弧形按钮（11），所述弧形按钮（11）外壁的表面活动套接有第三弹簧（13），所述弧形按钮（11）的另一侧固定连接有延伸板（12），所述第三弹簧（13）外壁的表面摩擦连接有矩形限位板（14）。

3.根据权利要求1所述的一种便于光刻掩膜版图形检测的菲林片，其特征在于：所述装置本体（1）顶部的两侧均开设有放置槽，所述放置槽内壁的表面开设有齿槽，所述齿槽剖面形状为矩形，所述第一限位板（5）的内部开设有连接套口（16），所述连接套口（16）内壁的表面和伸缩杆（17）外壁的表面相互贴合。

4.根据权利要求2所述的一种便于光刻掩膜版图形检测的菲林片，其特征在于：所述升降杆（8）的底部固定安装有橡胶密封圈（15），所述橡胶密封圈（15）剖面形状为圆形。

5.根据权利要求4所述的一种便于光刻掩膜版图形检测的菲林片，其特征在于：所述密封套口（3）的内部开设有活动腔，所述活动腔内壁的表面和橡胶密封圈（15）外壁的表面相互贴合。

6.根据权利要求2所述的一种便于光刻掩膜版图形检测的菲林片，其特征在于：所述弧形按钮（11）一侧外壁表面固定安装有限位板，所述限位板外壁的表面和第三弹簧（13）外壁的表面相互贴合。

7.根据权利要求2所述的一种便于光刻掩膜版图形检测的菲林片，其特征在于：所述矩形限位板（14）的内部开设有连接口，所述连接口内壁的表面和弧形按钮（11）外壁的表面相互贴合。