[实用新型]一种便于光刻掩膜版图形检测的菲林片

说明书

本实用新型公开了一种便于光刻掩膜版图形检测的菲林片，包括装置本体，所述装置本体的底部活动安装有吸盘，所述吸盘的顶部固定连接有密封套口，所述密封套口的顶部固定连接有伸缩杆,所述伸缩杆外壁的表面活动套接有第一弹簧，所述装置本体的内部固定安装有第一套板，所述伸缩杆的顶部固定安装有第一限位板；通过设计的伸缩杆和吸盘，伸缩杆在向下的过程中吸盘会对菲林片的顶部形成一个挤压的力，再挤压的过程中吸盘会将自身底部整体的空气排出，这时吸盘内外气压不同会形成负压，而放置在吸盘底部的菲林片会被紧紧吸住，此时便可以将装置本体向上提取，解决了在提取的过程中会将菲林片划伤的问题。

技术领域

本实用新型属于光刻掩膜版技术领域，具体涉及一种便于光刻掩膜版图形检测的菲林片。

背景技术

光学掩模板在薄膜、塑料或玻璃基体菲林片上制作各种功能图形并精确定位，以便用于光致抗蚀剂涂层选择性曝光的一种结构，掩膜版应用十分广泛，在涉及光刻工艺的领域都需要使用掩膜版。

现有的光刻掩膜版在图形检测的过程中都会需要使用到菲林片，而现有在使用菲林片的过程中都是使用夹子夹取，但是在工作人员在使用的过程中，因为使用不当，这使得夹子会对菲林片产生划伤，从而使得检测效率会下降的问题，为此我们提出一种便于光刻掩膜版图形检测的菲林片。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种便于光刻掩膜版图形检测的菲林片，以解决上述背景技术中提出现有的光刻掩膜版在图形检测的过程中都会需要使用到菲林片，而现有在使用菲林片的过程中都是使用夹子夹取，但是在工作人员在使用的过程中，因为使用不当，这使得夹子会对菲林片产生划伤，从而使得检测效率会下降的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种便于光刻掩膜版图形检测的菲林片，包括装置本体，所述装置本体的底部活动安装有吸盘，所述吸盘的顶部固定连接有密封套口，所述密封套口的顶部固定连接有伸缩杆,所述伸缩杆外壁的表面活动套接有第一弹簧，所述装置本体的内部固定安装有第一套板，所述伸缩杆的顶部固定安装有第一限位板。

优选的，所述伸缩杆的内部活动套接有升降杆，所述升降杆外壁的表面固定安装有第二限位板，所述第二限位板的底部贴合连接有第二弹簧，所述第二弹簧的底部贴合连接有第二套板,所述装置本体的内部活动套接有弧形按钮，所述弧形按钮外壁的表面活动套接有第三弹簧，所述弧形按钮的另一侧固定连接有延伸板，所述第三弹簧外壁的表面摩擦连接有矩形限位板。

优选的，所述装置本体顶部的两侧均开设有放置槽，所述放置槽内壁的表面开设有齿槽，所述齿槽剖面形状为矩形，所述第一限位板的内部开设有连接套口，所述连接套口内壁的表面和伸缩杆外壁的表面相互贴合。

优选的，所述升降杆的底部固定安装有橡胶密封圈，所述橡胶密封圈剖面形状为圆形。

优选的，所述密封套口的内部开设有活动腔，所述活动腔内壁的表面和橡胶密封圈外壁的表面相互贴合。

优选的，所述弧形按钮一侧外壁表面固定安装有限位板，所述限位板外壁的表面和第三弹簧外壁的表面相互贴合。

优选的，所述矩形限位板的内部开设有连接口，所述连接口内壁的表面和弧形按钮外壁的表面相互贴合。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、通过设计的伸缩杆和吸盘，伸缩杆在向下的过程中吸盘会对菲林片的顶部形成一个挤压的力，再挤压的过程中吸盘会将自身底部整体的空气排出，这时吸盘内外气压不同会形成负压，而放置在吸盘底部的菲林片会被紧紧吸住，此时便可以将装置本体向上提取，解决了在提取的过程中会将菲林片划伤的问题。