[实用新型]一种半导体检测用定位精度高的相干探测显微镜

权利要求书

1.一种半导体检测用定位精度高的相干探测显微镜，包括底板（1），其特征在于：所述底板（1）顶部的四周均安装有第一电动伸缩杆（2），所述第一电动伸缩杆（2）的顶部固定连接有连接板（5），所述连接板（5）的顶部开设有凹槽（14），所述凹槽（14）的内腔通过轴承转动连接有螺纹杆（15），所述螺纹杆（15）外表面的左右两端均螺纹连接有螺纹套（16），所述螺纹套（16）的顶部通过支架固定连接有放置板（20），所述连接板（5）的左侧固定安装有电机（6），所述电机（6）的输出轴与螺纹杆（15）固定连接，所述连接板（5）顶部的四周均固定连接有支撑杆（7），所述支撑杆（7）的顶部固定连接有顶板（8），所述顶板（8）底部的中端固定安装有第二电动伸缩杆（9），所述第二电动伸缩杆（9）的底部固定安装有镜头（10），所述连接板（5）顶部的左端固定连接有挡板（21），所述挡板（21）的右侧嵌设有距离感应器（22），所述底板（1）顶部的右端通过支架固定安装有控制面板（11）。

2.根据权利要求1所述的一种半导体检测用定位精度高的相干探测显微镜，其特征在于：所述底板（1）顶部的左端固定连接有电池箱（3），所述电池箱（3）的内腔固定安装有蓄电池（19），所述电池箱（3）的正面开设有充电口（4）。

3.根据权利要求1所述的一种半导体检测用定位精度高的相干探测显微镜，其特征在于：所述控制面板（11）正面的上部固定安装有显示器（12），所述显示器（12）的输入端分别与镜头（10）和距离感应器（22）的输出端电性连接。

4.根据权利要求1所述的一种半导体检测用定位精度高的相干探测显微镜，其特征在于：所述控制面板（11）正面的下部固定安装有PLC控制器（13），所述PLC控制器（13）的输出端分别与第一电动伸缩杆（2）、电机（6）和第二电动伸缩杆（9）的输入端电性连接。

5.根据权利要求1所述的一种半导体检测用定位精度高的相干探测显微镜，其特征在于：所述螺纹套（16）的底部固定连接有滑块（18），所述凹槽（14）内腔的底部开设有滑槽（17），所述滑块（18）与滑槽（17）的内腔滑动连接。