[实用新型]一种石英舟有效
| 申请号： | 202022532696.6 | 申请日： | 2020-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN213401123U | 公开（公告）日： | 2021-06-08 |
| 发明（设计）人： | 周华军;费正洪;孙贤 | 申请（专利权）人： | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;阿特斯阳光电力集团股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 215129 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 石英 | ||
1.一种石英舟，其特征在于，包括两个平行设置的侧板(1)，两个所述侧板(1)之间连接有至少三根平行设置的横杆，其中，至少一根所述横杆位于其余所述横杆的下方，各所述横杆构成硅片(200)的承载框，至少两根位于上方的所述横杆设有若干个开口相对的卡槽(5)，所述卡槽(5)的侧壁为竖直面且与所述横杆的轴向夹角为锐角。
2.根据权利要求1所述的石英舟，其特征在于，所述卡槽(5)的侧壁与所述横杆的轴向夹角为30-50度。
3.根据权利要求1所述的石英舟，其特征在于，所述横杆的数量为六根，并构成U形的所述承载框，形成所述承载框的底部的两根所述横杆为底部挡杆(4)，形成所述承载框的侧部的两个所述横杆分别为上横杆(2)与下横杆(3)。
4.根据权利要求3所述的石英舟，其特征在于，所述上横杆(2)的横截面形状为菱形，所述上横杆(2)的两条对角线分别沿竖直方向和水平方向延伸。
5.根据权利要求3或4所述的石英舟，其特征在于，所述下横杆(3)与所述底部挡杆(4)的横截面形状均为圆形。
6.根据权利要求1-4任一项所述的石英舟，其特征在于，两个所述侧板(1)设有转移件，所述转移件用于所述石英舟的位置转移。
7.根据权利要求6所述的石英舟，其特征在于，所述转移件为转移管(6)，所述转移管(6)设于所述侧板(1)的上端，所述转移管(6)的延伸方向与所述横杆的轴向垂直。
8.根据权利要求7所述的石英舟，其特征在于，所述转移管(6)的两端设有倒角，所述倒角的角度为30-60度。
9.根据权利要求1所述的石英舟，其特征在于，两个所述侧板(1)中的至少一个设有指示标记(7)，用于指示所述石英舟内装载的所述硅片(200)P面或N面的朝向。
10.根据权利要求1所述的石英舟，其特征在于，所述石英舟还包括通孔(8)。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
