[实用新型]一种石英舟有效
申请号: | 202022532696.6 | 申请日: | 2020-11-05 |
公开(公告)号: | CN213401123U | 公开(公告)日: | 2021-06-08 |
发明(设计)人: | 周华军;费正洪;孙贤 | 申请(专利权)人: | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;阿特斯阳光电力集团股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 胡彬 |
地址: | 215129 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 石英 | ||
本实用新型涉及太阳能电池制造技术领域,具体公开了一种石英舟,该石英舟包括两个平行设置的侧板,两个侧板之间连接有至少三根平行设置的横杆,其中,至少一根横杆位于其余横杆的下方,各横杆构成硅片的承载框,至少两根位于上方的横杆设有若干个开口相对的卡槽,卡槽的侧壁为竖直面且与横杆的轴向的夹角为锐角。卡槽的设置使得放置于石英舟的卡槽中的硅片与横杆的轴向的夹角为锐角,减小了硅片在扩散管内的横向尺寸,使得同一内径的扩散管能够制备的硅片的尺寸范围增加。
技术领域
本实用新型涉及太阳能电池制造技术领域,尤其涉及一种石英舟。
背景技术
在光伏电池领域,硅片的尺寸越来越大。在扩散管中生产硅片时,将承载有硅片的石英舟放置于扩散管或者从扩散管取出过程中,需要在扩散管中预留出石英舟的上抬空间,以便使用碳化硅桨对石英舟进行上抬并移动。
目前,若干硅片以垂直于石英舟的长度方向的方式放置于石英舟,但是随着硅片的尺寸的增加,石英舟在扩散管中可以上抬的空间逐渐减小,最终无法满足石英舟的上抬需求,进而无法通过碳化硅桨将承载有硅片的石英舟放置于扩散管中,致使同一内径的扩散管,能够制备的硅片的尺寸范围较小。
实用新型内容
本实用新型的目的在于:提供一种石英舟,以解决相关技术中同一内径的扩散管能够制备的硅片的尺寸范围较小的问题。
为达上述目的,本实用新型采用以下技术方案:
本实用新型提供一种石英舟,该石英舟包括两个平行设置的侧板,两个所述侧板之间连接有至少三根平行设置的横杆,其中,至少一根所述横杆位于其余所述横杆的下方,各所述横杆构成硅片的承载框,至少两根位于上方的所述横杆设有若干个开口相对的卡槽,所述卡槽的侧壁为竖直面且与所述横杆的轴向夹角为锐角。
可选地,所述卡槽的侧壁与所述横杆的轴向夹角为30-50度。
可选地,所述横杆的数量为六根,并构成U形的所述承载框,形成所述承载框的底部的两根所述横杆为底部挡杆,形成所述承载框的侧部的两个所述横杆分别为上横杆与下横杆。
可选地,所述上横杆的横截面形状为菱形,所述上横杆的两条对角线分别沿竖直方向和水平方向延伸。
可选地,所述下横杆与所述底部挡杆的横截面形状均为圆形。
可选地,两个所述侧板设有转移件,所述转移件用于所述石英舟的位置转移。
可选地,所述转移件为转移管,所述转移管设于所述侧板的上端,所述转移管的延伸方向与所述横杆的轴向垂直。
可选地,所述转移管的两端设有倒角,所述倒角的角度为30-60度。
可选地,两个所述侧板中的至少一个设有指示标记,用于指示所述石英舟内装载的所述硅片P面或N面的朝向。
可选地,所述石英舟还包括通孔。
本实用新型的有益效果为:
本实用新型提供一种石英舟,该石英舟通过设置侧壁为竖直面且与横杆的轴向夹角为锐角的卡槽,使得竖直放置于石英舟的卡槽中的硅片与横杆的轴向夹角为锐角,进而减小了硅片在扩散管内的横向尺寸,因此,石英舟在扩散管中可以上抬的预留空间增大,使得同一内径的扩散管能够制备的硅片的尺寸范围增加。
附图说明
图1为本实用新型实施例中石英舟装载有硅片的俯视图;
图2为图1中沿A-A方向的剖视图;
图3为本实用新型实施例中石英舟与扩散管配合的示意图;
图4为图2中B处的局部放大图。
图中:
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造