[实用新型]一种单晶硅导流装置

说明书

本实用新型公开了一种单晶硅导流装置，包括：导流罩、导流筒、水冷屏、挂接机构；挂接机构包括：上连接臂、挂钩、横杆、下连接臂；所述的挂钩水平固定在横杆上，横杆一端垂直连接上连接臂，横杆另一端垂直连接下连接臂；导流罩中心开孔成圆盖状；水冷屏为上下开口的圆台形空腔结构；导流罩底部两侧分别与一个挂接机构的上连接臂连接；两侧的挂接机构的下连接臂与水冷屏上部内侧壁连接；导流筒为上下开口的空腔结构，导流筒位于水冷屏外围；螺栓孔上设置螺栓；螺栓挂接在导流罩底部两侧挂接机构的挂钩上。设置挂接机构有效的将导流筒、导流罩、水冷屏三者连接在一起，减小了导流罩与导流筒的间隙，提高了拉晶一次成晶率与单晶整根率。

技术领域

本实用新型涉及单晶硅制造技术领域，具体涉及一种单晶硅导流装置。

背景技术

在单晶的拉制过程中，氩气由上而下吹入硅液表面，因为各石墨件之间以及石墨件与炉体之间存在一定的缝隙，氩气会再次由下而上携带杂质从缝隙处进入液面，因此会影响单晶的成晶以及热场的稳定，产生旁路。现有的技术中采用导流罩，导流罩的使用可以弥补石墨件之间的缝隙，并且可以挡住因旁路产生的氩气进入液面，使液面更加洁净和稳定。但是现有的导流罩在安装时不能合理固定导流罩、水冷屏及导流筒，其固定结构复杂，安装拆卸不方便，存在导流罩与导流筒间隙过大的现象，使拉晶一次成晶率与单晶整根率受到影响，成品率较低。

实用新型内容

针对现有技术中的问题，本实用新型提供了一种单晶硅导流装置，该；

为实现本实用新型的目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种单晶硅导流装置，包括：导流罩、导流筒、水冷屏、挂接机构；所述的挂接机构包括：上连接臂、挂钩、横杆、下连接臂；所述的挂钩水平固定在横杆上，横杆一端垂直连接上连接臂，横杆另一端垂直连接下连接臂；所述的导流罩中心开孔成圆盖状；水冷屏为上下开口的圆台形空腔结构；导流罩底部两侧分别与一个挂接机构的上连接臂连接；两侧的挂接机构的下连接臂与水冷屏上部内侧壁连接；导流筒为上下开口的空腔结构，导流筒位于水冷屏外围，导流筒上端开口处对称设置两个带有螺栓孔的连接部；螺栓孔上设置螺栓；螺栓挂接在导流罩底部两侧挂接机构的挂钩上。

优选的，所述的挂钩一侧斜向开设豁口；带有豁口的一侧边沿向上弯折形成凹槽；所述的螺栓挂接在豁口处。

优选的，所述的导流筒由外壁、内壁组成的筒状结构，内壁将导流筒内侧围成一个上下开口的圆台形空腔结构。

本实用新型与现有技术相比，具有以下有益效果：

该装置带有导流罩可以弥补石墨件之间的缝隙，并且可以挡住因旁路产生的氩气进入液面，使液面更加洁净和稳定；设置挂接机构有效的将导流筒、导流罩、水冷屏三者连接在一起，减小了导流罩与导流筒的间隙，提高了拉晶一次成晶率与单晶整根率。

附图说明

图1是本实用新型一种单晶硅导流装置的结构示意图；

图2是本实用新型一种单晶硅导流装置除导流筒以外的结构示意图；

图3是本实用新型一种单晶硅导流装置的挂接机构的结构示意图；

图4是本实用新型一种单晶硅导流装置的导流筒的剖视图；

图中：导流罩1、导流筒2、水冷屏3、上连接臂4、挂钩5、连接部6、螺栓7、下连接臂8、外壁21、内壁22、横杆51。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图；对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述：