[实用新型]一种真空吸附在线测试仪

权利要求书

1.一种真空吸附在线测试仪，包括机台与机台表面的工作台，所述工作台上设有底板，所述底板上铺设有探针，其特征在于：所述机台内设有真空储气罐，工作台上设有定位槽，所述底板安装在定位槽内；

所述底板上设有与真空储气罐连通的抽气孔，所述定位槽内嵌设有连接板，所述连接板上铺设有与各探针一一插接的界面针，所述底板的表面可与连接板抵接、且底板上设有用于支撑连接板的弹性支撑结构。

2.如权利要求1所述的一种真空吸附在线测试仪，其特征在于：所述定位槽的内壁设有环形结构的密封圈，所述密封圈的内壁紧抵连接板的外侧面。

3.如权利要求2所述的一种真空吸附在线测试仪，其特征在于：所述底板上设有若干定位柱，连接板上开设有若干供所述定位柱嵌入的定位孔，所述定位柱的顶部呈圆台状结构。

4.如权利要求3所述的一种真空吸附在线测试仪，其特征在于：所述弹性支撑结构包括开设有底板表面的限位槽，所述限位槽内设有与连接板朝向底板一侧抵接的压缩弹簧；

所述限位槽的横截面呈圆形结构。

5.如权利要求4所述的一种真空吸附在线测试仪，其特征在于：所述底板的表面开设有用于固定密封圈的环形槽，所述密封圈嵌设于环形槽内。