[实用新型]一种毛刷自清洗装置

权利要求书

1.一种毛刷自清洗装置，用于在晶圆清洗过程中清洗毛刷，其特征在于，其中所述毛刷自清洗装置包括：

一升降组件；

一旋转组件，其中所述旋转组件包括一旋转主体，其中所述旋转主体被可升降的连接于所述升降组件；

一摆臂机构，其中所述摆臂机构的其中一端被固定连接于所述旋转主体的上端，所述摆臂机构的另一端连接所述毛刷；

一储液机构，用于储存清洗液，其中所述储液机构具有一清洗口，且所述储液机构与所述摆臂机构相配合被固定设置于预定的位置，以在所述毛刷被升降以及旋转后可直接穿过所述清洗口于所述清洗液内完成清洗；和

一毛刷自转组件，所述毛刷自转组件与所述摆臂机构相配合，以在预定的位置带动所述毛刷自动旋转。

2.如权利要求1所述的毛刷自清洗装置，其特征在于，所述升降组件包括第一电机、限位机构、竖向设置的第一丝杆和与所述第一丝杆相配合套设于所述第一丝杆的丝杆连接块，其中所述第一丝杆被固定连接于所述第一电机的输出端，所述丝杆连接块与所述限位机构相配合以使所述第一丝杆旋转时，所述丝杆连接块沿所述第一丝杆的长度方向上下移动，其中所述旋转主体固定连接所述丝杆连接块。

3.如权利要求2所述的毛刷自清洗装置，其特征在于，所述限位机构包括第一限位板，所述第一限位板沿所述第一丝杆的长度方向设置有第一限位槽，所述第一限位槽与所述丝杆连接块相配合，以在所述第一丝杆旋转时于所述第一限位槽的长度方向限位所述丝杆连接块。

4.如权利要求3所述的毛刷自清洗装置，其特征在于，所述旋转组件还包括滑动板，其中所述滑动板具有相对的第一板面和第二板面，以分别连接所述第一限位板和所述旋转主体，所述第一板面沿所述第一限位槽的长度方向设置有滑块，所述第一限位板设置有与所述滑块相配合的滑轨。

5.如权利要求4所述的毛刷自清洗装置，其特征在于，所述旋转主体包括第二电机、第二安装架、第二连接轴和第二轴承机构，其中所述第二安装架固定连接于所述第二板面，所述第二电机固定连接于所述第二安装架的底面，所述第二轴承机构固定连接于所述第二安装架的顶面，所述第二连接轴固定连接所述第二电机的输出端，并在穿过所述第二安装架和所述第二轴承机构后固定连接所述摆臂机构。

6.如权利要求5所述的毛刷自清洗装置，其特征在于，所述第二安装架具有固定所述第二轴承机构的顶板，所述顶板沿所述第二连接轴的旋转方向开设有弧形止位槽，所述第二连接轴固定套设有与所述止位槽相配合的止动块，以限位所述旋转组件的旋转。

7.如权利要求5或6所述的毛刷自清洗装置，其特征在于，所述第二安装架安装有第二传感器，所述第二连接轴连接有与所述第二传感器产生感应的第二感应元件，以在所述第二感应元件转动至所述第二传感器的位置时所述毛刷正对所述清洗口。

8.如权利要求1所述的毛刷自清洗装置，其特征在于，所述储液机构为储液槽。

9.如权利要求8所述的毛刷自清洗装置，其特征在于，所述储液槽设置有进液口和出液口，以方便更换所述储液机构内的清洗液。

10.如权利要求1所述的毛刷自清洗装置，其特征在于，所述毛刷自转组件包括转动机构、第三被动轮和毛刷旋转轴，其中所述毛刷旋转轴可旋转地上下贯穿所述摆臂机构，所述毛刷被安装于所述毛刷旋转轴的底端，所述第三被动轮被固定套设于所述毛刷旋转轴的顶端，所述转动机构被固定于预定的位置，并与所述第三被动轮相配合，以在所述毛刷自清洗时，通过所述第三被动轮带动所述毛刷旋转，所述转动机构包括传动配合的第三电机和第三主动轮，所述第三主动轮与所述第三被动轮啮合连接。