[实用新型]一种刻蚀机的自动门

说明书

本实用新型提供了一种刻蚀机的自动门，属于刻蚀机技术领域。该刻蚀机自动门包括刻蚀机本体、开合装置和自动门，所述开合装置包括液压缸和连接杆，所述液压缸转动连接于所述刻蚀机本体上侧，所述液压缸活塞杆顶端转动连接于所述连接杆上端，所述自动门包括门板、电磁锁、锁柱和门框，所述门框固定连接于所述刻蚀机本体一侧，所述门板转动连接于所述门框一侧，所述电磁锁安装在所述门框另一侧，所述连接杆下端转动连接于所述门板外侧，所述锁柱安装在所述门板靠近所述连接杆一侧内部，所述电磁锁和所述锁柱对应设置，本实用新型可以快速方便地开合刻蚀机门体，避免繁复的手动操作影响刻蚀机作业效率，避免过度磨损门板和密封件导致密封性下降。

技术领域

本实用新型涉及刻蚀机技术领域，具体而言，涉及一种刻蚀机的自动门。

背景技术

等离子刻蚀机是干法刻蚀工艺中的一种常见重要设备，由于工件需要在真空环境下进行加工，所以对于刻蚀机门的密封度要求较高。

目前，现有的刻蚀机门体多采用手动锁止的方式，可以提供足够的力度使门板和刻蚀机本体充分密闭，但开合门体较繁琐，如果大量进出料则需频繁地手动开合门体，则会影响刻蚀机的作业效率，且手动开合力度较大，可能会造成门板和密封件过度磨损，导致密封性下降。

实用新型内容

为了弥补以上不足，本实用新型提供了一种刻蚀机的自动门，旨在改善现有刻蚀机需要频繁手动开合门体，影响刻蚀机作业效率，且可能过度磨损门板和密封件导致密封性下降的问题。

本实用新型是这样实现的：

本实用新型提供一种刻蚀机的自动门，包括刻蚀机本体、开合装置和自动门。

所述开合装置包括液压缸和连接杆，所述液压缸转动连接于所述刻蚀机本体上侧，所述液压缸活塞杆顶端转动连接于所述连接杆上端，所述自动门包括门板、电磁锁、锁柱和门框，所述门框固定连接于所述刻蚀机本体一侧，所述门板转动连接于所述门框一侧，所述电磁锁安装在所述门框另一侧，所述连接杆下端转动连接于所述门板外侧，所述锁柱安装在所述门板靠近所述连接杆一侧内部，所述电磁锁和所述锁柱对应设置。

在本实用新型的一种实施例中，所述液压缸活塞杆顶端安装有第一连接块，所述连接杆上端转动连接于所述第一连接块。

在本实用新型的一种实施例中，所述液压缸外部设置有防护罩，所述防护罩固定连接于所述刻蚀机本体上侧。

在本实用新型的一种实施例中，所述门板外侧安装有第二连接块，所述连接杆下端转动连接于所述第二连接块。

在本实用新型的一种实施例中，所述电磁锁包括第一铁芯和线圈，所述线圈缠绕在所述第一铁芯外部。

在本实用新型的一种实施例中，所述第一铁芯和所述线圈外部设置有第一隔离层，所述第一隔离层外部安装有第一屏蔽壳，所述第一屏蔽壳固定连接于所述刻蚀机本体。

在本实用新型的一种实施例中，所述锁柱包括第二铁芯、缓冲壳和弹簧，所述第二铁芯贯穿于所述弹簧，所述第二铁芯滑动贯穿于所述缓冲壳，所述缓冲壳设置在所述弹簧远离所述门板一侧，所述弹簧一端固定连接于所述缓冲壳。

在本实用新型的一种实施例中，所述缓冲壳和所述弹簧外部设置有第二隔离层，所述弹簧远离所述缓冲壳一端固定连接于所述第二隔离层，所述第二隔离层外部安装有第二屏蔽壳，所述第二屏蔽壳固定连接于所述门板。

在本实用新型的一种实施例中，所述门板内部安装有第一密封圈，所述第一密封圈外侧安装有第二密封圈。

在本实用新型的一种实施例中，所述第一密封圈远离所述门板一侧安装有防护层。