[实用新型]半导体制造用化学药液的温度控制装置

权利要求书

1.一种半导体制造用化学药液的温度控制装置，其安装于化学药液循环供应管以控制化学药液的温度，其特征在于，包括：

第1散热设备部，其在内部形成有冷却水流路；

多个热电模块，其分别与所述第1散热设备部的两侧面接触地设置；及

第2散热设备部，其中间隔着所述第1散热设备部分别与所述多个热电模块接触地设置，并设有沿着其内部流动化学药液的多个化学药液流路管。

2.根据权利要求1所述的半导体制造用化学药液的温度控制装置，其特征在于，

所述第2散热设备部包括：

一个化学药液流入管及化学药液排出管，其分别流入及排出化学药液；

第1及第2散热设备模块，其分别设置在所述第1散热设备部的一侧及另一侧，并且，在内部分别设有分别与所述一个化学药液流入管及化学药液排出管连通的多个化学药液流路管；

第1及第2分流管模块，其形成有内部流动空间，分别设置在所述第1及第2散热设备模块的一侧，用于容纳通过多个化学药液流路管流入或排出的化学药液，并且，分别与所述一个化学药液流入管及化学药液排出管连通；及

第3分流管模块，其形成有内部流动空间，在所述第1及第2散热设备模块的另一侧形成，使得形成于所述第1及第2散热设备模块的多个化学药液流路管相互连通。

3.根据权利要求2所述的半导体制造用化学药液的温度控制装置，其特征在于，

所述多个化学药液流路管由PFA材质形成，所述第1及第2散热设备部由铝合金材质形成,所述第1至第3分流管模块由PTFE材质形成。

4.根据权利要求2所述的半导体制造用化学药液的温度控制装置，其特征在于，

所述第2散热设备部还包括：

乱流发生模块，其向所述多个化学药液流路管的端部内侧插入，而使得化学药液流路管内部的化学药液流动发生乱流。

5.根据权利要求4所述的半导体制造用化学药液的温度控制装置，其特征在于，

所述化学药液流路管由直管形态形成，

所述乱流发生模块包括：

乱流发生模块主体；及

多个乱流引导流路，其设置在所述乱流发生模块主体，对于所述化学药液流路管的纵向中心轴倾斜形成，引导化学药液向化学药液流路管内面流动而借助于与所述内面的冲突发生乱流。

6.根据权利要求4所述的半导体制造用化学药液的温度控制装置，其特征在于，

所述化学药液流路管由直管形态形成，

所述乱流发生模块包括：

乱流发生模块主体；及

多个乱流引导流路，其设置在所述乱流发生模块主体，并且，越向所述化学药液流路管内侧越逐渐地增加流路截面积，从而，引导化学药液向化学药液流路管内面流动，而借助于与内面的冲突发生乱流。

7.根据权利要求4所述的半导体制造用化学药液的温度控制装置，其特征在于，

所述乱流发生模块由PFA或PTFE材质形成。

8.根据权利要求1所述的半导体制造用化学药液的温度控制装置，其特征在于，

在所述多个化学药液流路管的内面沿着圆周方向交替地反复地形成有突出部和凹陷部，并且，沿着其纵向连续地形成。

9.根据权利要求8所述的半导体制造用化学药液的温度控制装置，其特征在于，

在所述多个化学药液流路管的内侧沿着其纵向连续地形成有用于将该流路以多个区域进行分割的多个分隔杆。