[实用新型]一种硅抛光片的尺寸检测装置

说明书

本实用新型提供一种硅抛光片的尺寸检测装置，涉及半导体领域。该硅抛光片的尺寸检测装置，包括底板，所述底板的上表面固定连接有固定板，所述固定板的右侧开设有伸缩槽，所述伸缩槽的左侧内壁固定连接有第一弹簧，所述第一弹簧的右端固定连接有活动卡箍，所述底板的上表面固定连接有固定卡箍。该硅抛光片的尺寸检测装置，通过固定卡箍、固定板、伸缩槽、第一弹簧和活动卡箍的配合，达到对于不同尺寸的硅抛光片进行定位，通过第二弹簧、活动板和刻度尺的配合，达到根据刻度尺所对准固定卡箍内壁的相应刻度，从而快速方便的检测出硅抛光片尺寸，解决了需要借助多个辅助工具进行尺寸检测，使得在对于硅抛光片进行尺寸检测时十分不便的问题。

技术领域

本实用新型涉及半导体技术领域，具体为一种硅抛光片的尺寸检测装置。

背景技术

半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用，无论从科技或是经济发展的角度来看，半导体的重要性都是非常巨大的。大部分的电子产品，如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关联，半导体中的硅抛光片一般是制造过程中的“假片”，是为了设备运行和保护晶圆片而重复使用，属于生产辅料，硅抛光片多为圆形，需要借助多个辅助工具进行尺寸检测，使得在对于硅抛光片进行尺寸检测时十分不便。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种硅抛光片的尺寸检测装置，解决了需要借助多个辅助工具进行尺寸检测，使得在对于硅抛光片进行尺寸检测时十分不便的问题。

技术方案

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种硅抛光片的尺寸检测装置，包括底板，所述底板的上表面固定连接有固定板，所述固定板的右侧开设有伸缩槽，所述伸缩槽的左侧内壁固定连接有第一弹簧，所述第一弹簧的右端固定连接有活动卡箍，所述底板的上表面固定连接有固定卡箍，所述固定卡箍的右侧固定连接有第二弹簧，所述第二弹簧的右端固定连接有活动板，所述活动板的左侧固定连接有刻度尺，所述刻度尺的下表面与固定卡箍的顶部搭接。

进一步的，所述底板的左侧固定连接有拎环。

进一步的，所述底板的上表面开设有滑槽，所述滑槽的内部滑动连接有滑块，所述滑块的上表面与活动卡箍的底部固定连接。

进一步的，所述活动卡箍的顶部固定连接有拉块。

进一步的，所述伸缩槽的左侧内壁搭接有防变形杆，所述防变形杆的右端与活动卡箍的左侧固定连接，所述第一弹簧位于防变形杆的表面且与防变形杆的表面相套接。

进一步的，所述活动板的左侧开设有与右侧相连通的开孔，所述开孔的内部活动连接有定位杆，所述定位杆的左端与固定卡箍的右侧固定连接，所述第二弹簧位于定位杆的表面且与定位杆的表面相套接。

本实用新型提供了一种硅抛光片的尺寸检测装置。具备以下有益效果：

1、该硅抛光片的尺寸检测装置，通过固定卡箍、固定板、伸缩槽、第一弹簧和活动卡箍的配合，达到对于不同尺寸的硅抛光片进行定位，通过第二弹簧、活动板和刻度尺的配合，达到根据刻度尺所对准固定卡箍内壁的相应刻度，从而快速方便的检测出硅抛光片尺寸，解决了需要借助多个辅助工具进行尺寸检测，使得在对于硅抛光片进行尺寸检测时十分不便的问题。

2、该硅抛光片的尺寸检测装置，通过滑槽内部设置的滑块，达到增加活动卡箍移动时的平稳性，通过防变形杆的设置，达到避免将活动卡箍向左拉动过程中将第一弹簧挤压变形，通过定位杆的设置，达到增加刻度尺移动的平衡性，降低检测误差，通过拉块的设置，达到进行刻度尺的阻挡，以便通过刻度尺进行观察检测数据。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型结构正视图。